[发明专利]用于提高测量精度的测距系统

权利要求书

1.一种用于提高测量精度的测距系统，是包括测距主机和辅助测量装置的测距系统，其特征在于，所述测距主机包括：利用第一光束以获得所述测距主机与所述辅助测量装置的距离的绝对测距模块、以及利用第二光束以获得所述辅助测量装置的位移的相对测距模块，所述绝对测距模块包括用于产生所述第一光束的第一发射单元、用于反射所述第一光束并形成第一反射光束的第一反射单元、用于接收所述第一光束和所述第一反射光束并对所述第一光束和所述第一反射光束进行分束的第一分光单元、以及具有光学开关并用于控制所述第一光束的路径的开关单元，当所述光学开关位于第一位置，所述第一光束经由所述开关单元到达第一反射单元，所述第一反射光束经由所述开关单元到达所述第一分光单元，当所述光学开关位于第二位置，所述第一光束经由所述开关单元到达所述辅助测量装置，并形成第二反射光束，所述第二反射光束经由所述开关单元到达所述第一分光单元；所述相对测距模块产生所述第二光束，所述第二光束到达所述辅助测量装置并形成第三反射光束。

2.根据权利要求1所述的测距系统，其特征在于，

所述绝对测距模块还包括用于将光信号转换为电信号的第一传感单元，当所述光学开关位于第一位置，所述第一分光单元将所述第一反射光束反射至所述第一传感单元，当所述光学开关位于第二位置，所述第一分光单元将所述第二反射光束反射至所述第一传感单元。

3.根据权利要求2所述的测距系统，其特征在于，

还包括处理模块，所述处理模块配置为根据所述第一传感单元接收的所述第一反射光束和所述第一传感单元接收的所述第二反射光束获得所述辅助测量装置与所述测距主机的距离。

4.根据权利要求1所述的测距系统，其特征在于，

所述绝对测距模块还包括用于对所述第一光束进行调制的调制单元。

5.根据权利要求1所述的测距系统，其特征在于，

所述绝对测距模块还包括设置于所述开关单元与所述第一反射单元之间的第一波片，所述第一波片为1/4波片。

6.根据权利要求1所述的测距系统，其特征在于，

还包括用于合并所述第一光束和所述第二光束并发射至所述辅助测量装置的组合模块。

7.根据权利要求6所述的测距系统，其特征在于，

所述绝对测距模块还包括设置于所述第一分光单元和所述开关单元之间的第一耦合单元、以及设置于所述第一反射单元和所述开关单元之间的第二耦合单元，所述第一耦合单元与所述开关单元通过光纤连接，所述开关单元与所述第二耦合单元通过光纤连接，所述开关单元与设置于所述组合模块的第三耦合单元通过光纤连接，所述光纤为保偏光纤。

8.根据权利要求7所述的测距系统，其特征在于，

所述开关单元和所述第二耦合单元之间的光纤长度与所述开关单元和所述第三耦合单元之间的光纤长度相同。

9.根据权利要求7所述的测距系统，其特征在于，

所述相对测距模块包括用于产生所述第二光束的第二发射单元、接收所述第二光束并对所述第二光束进行分束的第二分光单元、用于反射所述第二光束并形成第四反射光束的第二反射单元、以及用于接收所述第三反射光束和所述第四反射光束形成的干涉信息的计数单元，所述第二光束依次经由所述第二分光单元和所述组合模块到达所述辅助测量装置并形成所述第三反射光束，所述第三反射光束和所述第四反射光束经由所述第二分光单元到达所述计数单元，在所述第二发射单元和所述第二分光单元之间设置有第三波片，所述第二分光单元和所述第二反射单元之间设置有第四波片。

10.根据权利要求9所述的测距系统，其特征在于，

所述组合模块包括第三分光单元和位置传感单元，所述第三分光单元配置为将所述第二反射光束和/或所述第三反射光束反射至所述位置传感单元以测量所述辅助测量装置的位置是否发生变化。