[发明专利]树脂填充袋、保护膜的制造方法和干膜抗蚀剂的制造方法

权利要求书

1.一种树脂填充袋，其为在包装袋中填充有树脂的树脂填充袋，其中，

所述树脂为用于制造保护膜的树脂，

所述包装袋具有外袋和内袋，

所述外袋为挠性容器，并且

所述内袋为以聚烯烃类树脂作为材料的袋。

2.如权利要求1所述的树脂填充袋，其中，所述用于制造保护膜的树脂为用于制造干膜抗蚀剂的保护膜的树脂。

3.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述用于制造保护膜的树脂包含乙烯类聚合物。

4.如权利要求3所述的树脂填充袋，其中，所述乙烯类聚合物为高压法低密度聚乙烯。

5.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述内袋为以乙烯类聚合物作为材料的袋。

6.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述外袋的厚度为0.10mm以上且3.00mm以下，所述内袋的厚度为0.05mm以上且0.10mm以下。

7.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述外袋的容量为50L以上且5000L以下，所述内袋的容量为100L以上且10000L以下。

8.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述用于制造保护膜的树脂的体积相对于所述内袋中的气体的体积的比率为0.01以上且2.00以下。

9.一种保护膜的制造方法，其中，所述保护膜的制造方法包含以下工序：

工序(1)：从权利要求1或2所述的树脂填充袋中取出树脂；和

工序(2)：将被取出的树脂熔融混炼并制膜。

10.如权利要求9所述的保护膜的制造方法，其中，所述工序(2)为使用吹胀膜成型机的工序。

11.一种干膜抗蚀剂的制造方法，其中，所述干膜抗蚀剂的制造方法包含工序(3)：将利用权利要求9所述的制造方法得到的保护膜贴合在层叠膜上，所述层叠膜具有基材膜和形成在该基材膜上的抗蚀剂层。

12.如权利要求11所述的干膜抗蚀剂的制造方法，其中，所述基材膜为以聚对苯二甲酸乙二醇酯作为材料的膜，所述抗蚀剂层为以感光性树脂作为材料的层。