[发明专利]骨传导检测装置、骨传导器件及制作方法

说明书

本申请公开了一种骨传导检测装置、骨传导器件及制作方法。所述骨传导检测装置包括支撑件、第一基板、第二基板以及可动组件；支撑件上设置有支撑孔，并且支撑件具有相对的第一侧与第二侧，第一侧与第一基板固定连接，第二侧与第二基板固定连接，支撑件、第一基板以及第二基板共同形成腔体；可动组件包括通过悬挂结构悬挂在支撑孔内的质量块；第二基板上设置有固定电极，固定电极与质量块形成针对目标方向加速度的检测电容；其中，目标方向与第一基板的厚度方向相平行，质量块在检测到目标方向加速度时沿平行于目标方向运动，并且悬挂结构限制质量块在非目标方向上的运动。本申请所公开的技术方案解决了现有的骨传导麦克风的灵敏度差且失效的问题。

技术领域

本申请涉及麦克风技术领域，尤其涉及一种骨传导检测装置、骨传导器件及制作方法。

背景技术

当前，消费类电子产品市场需求急剧增加，音频输入设备广泛的应用于各类电子产品中，例如手机、笔记本电脑、平板电脑、照相机、摄像机等等，因此需要大量的麦克风集成到这些产品中。MEMS麦克风以体积更小、成本更低、集成度更高和抗震耐热性等优势逐步取代了驻极体电容式麦克风，成为消费类电子产品领域中麦克风的未来发展趋势。

电容式硅麦克风是MEMS麦克风中的重要分类之一，电容式硅麦克风的工作原理是在背极板和振膜之间加上一个恒定的偏执电压，此时背极板与振膜会保持恒定的距离，当有声音信号导致空气振动时，空气振动使振膜振动，背极板与振膜之间的距离会在声压作用下产生位移，从而两极板间的电容值发生改变产生交变电信号。电容式硅麦克风的整个过程是在空气中进行，易受到外界噪声干扰，因此骨传导麦克风出现，通过在振膜上设置质量块，骨头传播的振动信号使质量块振动，通过质量块振动实现对声音的拾取，但是现有的骨传导麦克风的灵敏度差且易失效。

发明内容

本申请实施例提供一种骨传导检测装置、骨传导器件及制作方法，以有效解决现有的骨传导麦克风的灵敏度差且易失效的问题。

根据本申请的一方面，本申请提供一种骨传导检测装置，所述骨传导检测装置包括支撑件、第一基板、第二基板以及可动组件；

所述支撑件上设置有在厚度方向上贯通所述支撑件的支撑孔，并且所述支撑件具有相对的第一侧与第二侧，所述第一侧与所述第一基板固定连接，所述第二侧与所述第二基板固定连接，所述支撑件、所述第一基板以及所述第二基板共同形成腔体；

所述可动组件包括通过悬挂结构悬挂在所述支撑孔内的质量块，所述腔体为所述质量块提供运动空间；

所述第二基板与所述支撑件的所述第二侧固定连接的表面上设置有固定电极，所述固定电极与所述质量块形成针对目标方向加速度的检测电容；

其中，所述目标方向与所述第一基板的厚度方向相平行，所述质量块在检测到所述目标方向加速度时沿平行于所述目标方向运动，并且所述悬挂结构限制所述质量块在非所述目标方向上的运动。

进一步地，所述质量块与所述支撑孔的形状相同且平行地悬挂在所述支撑孔内，所述质量块与所述支撑孔之间形成环形的支撑区域。

进一步地，所述悬挂结构包括位于所述支撑区域内且环绕所述质量块周向布置的多个悬臂梁。

进一步地，所述质量块与所述支撑孔的形状均为多边形；

所述多个悬臂梁分别与所述支撑孔的多个内壁面一一对应，所述悬臂梁平行于相对应的所述支撑孔的内壁面；

所述悬臂梁的一端通过至少一个第一弯折部与所述质量块固定连接，且所述悬臂梁的另一端与远离所述至少一个第一弯折部且与所述悬臂梁相对应的所述内壁面相邻的内壁面固定连接。

进一步地，所述质量块与所述支撑孔的形状均为圆形；

所述悬臂梁平行于所述质量块；