[发明专利]骨传导检测装置、骨传导器件及制作方法

权利要求书

1.一种骨传导检测装置，其特征在于，所述骨传导检测装置包括支撑件（10）、第一基板（20）、第二基板（30）以及可动组件（40）；

所述支撑件（10）上设置有在厚度方向上贯通所述支撑件（10）的支撑孔（110），并且所述支撑件（10）具有相对的第一侧与第二侧，所述第一侧与所述第一基板（20）固定连接，所述第二侧与所述第二基板（30）固定连接，所述支撑件（10）、所述第一基板（20）以及所述第二基板（30）共同形成腔体（50）；

所述可动组件（40）包括通过悬挂结构（410）悬挂在所述支撑孔（110）内的质量块（420），所述腔体（50）为所述质量块（420）提供运动空间；

所述第二基板（30）与所述支撑件（10）的所述第二侧固定连接的表面上设置有固定电极（310），所述固定电极（310）与所述质量块（420）形成针对目标方向加速度的检测电容；

其中，所述目标方向与所述第一基板（20）的厚度方向相平行，所述悬挂结构（410）包括位于支撑区域（70）内且环绕所述质量块（420）周向布置的多个悬臂梁（4101），以使得所述质量块（420）对应的振动方向与所述目标方向平行。

2.根据权利要求1所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述质量块（420）与所述支撑孔（110）的形状相同且平行地悬挂在所述支撑孔（110）内，所述质量块（420）与所述支撑孔（110）之间形成环形的所述支撑区域（70）。

3.根据权利要求1所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述质量块（420）与所述支撑孔（110）的形状均为多边形；

所述多个悬臂梁（4101）分别与所述支撑孔（110）的多个内壁面一一对应，所述悬臂梁（4101）平行于相对应的所述支撑孔（110）的内壁面；

所述悬臂梁（4101）的一端通过至少一个第一弯折部（4102）与所述质量块（420）固定连接，且所述悬臂梁（4101）的另一端与远离所述至少一个第一弯折部（4102）且与所述悬臂梁（4101）相对应的所述内壁面相邻的内壁面固定连接。

4.根据权利要求1所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述质量块（420）与所述支撑孔（110）的形状均为圆形；

所述悬臂梁（4101）平行于所述质量块（420）；

所述悬臂梁（4101）的一端通过至少一个第一弯折部（4102）与所述质量块（420）固定连接，且所述悬臂梁（4101）的另一端通过至少一个第二弯折部（4103）与所述支撑孔（110）的内壁面固定连接。

5.根据权利要求3或4所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述第一弯折部（4102）的长度不小于10μm。

6.根据权利要求5所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述悬臂梁（4101）的宽度为1-10μm，所述悬臂梁（4101）的长度为100-1000μm，所述悬臂梁（4101）的厚度为10-100μm。

7.根据权利要求6所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述质量块（420）的厚度为10-100μm。

8.根据权利要求1所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述腔体（50）包括设置在所述第一基板（20）与所述支撑件（10）的所述第一侧固定连接的表面上的凹槽（210），所述凹槽（210）内设置有至少一个上止挡件（220），所述至少一个上止挡件（220）的一端与所述第一基板（20）固定连接且另一端与所述质量块（420）之间具有上预设间距。

9.根据权利要求8所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述上预设间距是1-5μm。

10.根据权利要求1所述的骨传导检测装置，其特征在于，所述质量块（420）朝向所述固定电极（310）的表面上设置有至少一个下止挡件（4201），所述至少一个下止挡件（4201）与所述固定电极（310）之间具有下预设间距。