[发明专利]一种保温变色镀膜玻璃及制备方法

权利要求书

1.一种保温变色镀膜玻璃，其特征在于，包括玻璃基片(1)；

所述玻璃基片(1)的一表面依次镀覆有氮化硅层(2)、掺铝氧化锌层(3)、金属银层(4)、氧化锌层(5)、三氧化钨层(6)以及二氧化钛层(7)。

2.根据权利要求1所述的一种保温变色镀膜玻璃，其特征在于，所述氮化硅层(2)的厚度为30～60nm。

3.根据权利要求1或2所述的一种保温变色镀膜玻璃，其特征在于，所述掺铝氧化锌层(3)的厚度为6～30nm。

4.根据权利要求3所述的一种保温变色镀膜玻璃，其特征在于，所述金属银层(4)的厚度为6～20nm。

5.根据权利要求4所述的一种保温变色镀膜玻璃，其特征在于，所述氧化锌层(5)的厚度为40～70nm。

6.根据权利要求4或5所述的一种保温变色镀膜玻璃，其特征在于，所述三氧化钨层(6)的厚度为30～40nm。

7.根据权利要求6所述的一种保温变色镀膜玻璃，其特征在于，所述二氧化钛层(7)的厚度为20～50nm。

8.一种如权利要求1-7任意一项所述的一种保温变色镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、将玻璃基片(1)使用去离子水连续清洗两次，再使用氮气将玻璃基片(1)的表面吹干，然后将玻璃基片(1)传输至磁控溅射仪的镀膜腔室①内；在镀膜室①内设置纯度为99.99％的硅靶，且工作气体采用纯度为99.99％的氩气和氮气，氮氩之比为9：1，氩气的流量为5～10sccm；在氮氩氛围中将硅靶溅射于玻璃基片(1)的一表面上，促使玻璃基片(1)上形成膜层厚度为40nm的氮化硅层(2)；

步骤二、将步骤一中的玻璃基片(1)送至镀膜室②内；在镀膜室②内设置镍铬混合的浇铸圆柱型陶瓷锌靶，且工作气体采用纯度为99.99％的氩气和氮气，氩氧之比为4：3，氩气的流量为8～10sccm；在氮氩氛围中将陶瓷锌靶溅射于氮化硅层(2)的一表面上，促使氮化硅层(2)上形成膜层厚度为10nm的掺铝氧化锌层(3)；

步骤三、将步骤二中的玻璃基片(1)送至镀膜室③内；在镀膜室③内设置浇铸圆柱型银靶，且工作气体采用纯度为99.99％的氩气，氩气的流量为4～10sccm；在氩气氛围中将银靶溅射于掺铝氧化锌层(3)的一表面上，促使掺铝氧化锌层(3)上形成膜层厚度为15nm的金属银层(4)；

步骤四、将步骤三中的玻璃基片(1)送至镀膜室④内；在镀膜室④内设置纯度为99.99％的氧化锌靶，且工作气体采用纯度为99.99％的氩气，氩气的流量为4～6sccm；在氩气氛围中将氧化锌靶溅射于金属银层(4)的一表面上，促使金属银层(4)上形成膜层厚度为50nm的氧化锌层(5)；

步骤五、将步骤四中的玻璃基片(1)送至镀膜室⑤内；在镀膜室⑤内设置纯度为99.99％的浇铸圆柱型氧化钨靶，且工作气体采用纯度为99.99％的氩气，氩气的流量为10～15sccm；在氩气氛围中将氧化钨靶溅射于氧化锌层(5)的一表面上，促使氧化锌层(5)上形成膜层厚度为35nm的三氧化钨层(6)；

步骤六、将步骤五中的玻璃基片(1)送至镀膜室⑥内；在镀膜室⑥内设置纯度为99.99％的二氧化钛靶，且工作气体采用纯度为99.99％的氩气，氩气的流量为5～10sccm；在氩气氛围中将二氧化钛靶溅射于三氧化钨层(6)的一表面上，促使三氧化钨层(6)上形成膜层厚度为40nm的二氧化钛层(7)。

9.根据权利要求8所述的一种保温变色镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，所述步骤一中，去离子水的清洗时间为15-25min。