[发明专利]一种薄膜表面缺陷检测系统及方法

权利要求书

1.一种薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，包括：检测子系统和数据处理服务器；

所述检测子系统，包括多个工业相机、多个频率的光源和信号处理平台；所述信号处理平台，用于向多个所述工业相机和多个频率的所述光源发送同步控制信号；多个所述工业相机和多个频率的所述光源，用于当接收到所述同步控制信号时，多个频率的所述光源配合多个所述工业相机，由多个所述工业相机通过多通道采集待测样品的图像，并将所述待测样品的图像发送到所述数据处理服务器；

所述数据处理服务器，用于根据接收到的所述待测样品的图像，进行缺陷的真假判断及具体缺陷分类。

2.根据权利要求1所述的薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，多个所述工业相机，包括：

黑白高速线阵相机，用于采集所述待测样品的黑白通道图像；

彩色高速线阵相机，用于采集所述待测样品的彩色通道图像。

3.根据权利要求2所述的薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，多个频率的所述光源，包括：

第1反射场线光源、第2反射场线光源、第1透射场线光源和第2透射场线光源，用于配合所述黑白高速线阵相机，由所述黑白高速线阵相机采集待测样品的透射亮通道图像、透射暗通道图像、反射亮通道图像和反射暗通道图像；

第2透射场线光源，用于配合所述彩色高速线阵相机，由所述彩色高速线阵相机采集待测样品的彩色通道图像。

4.根据权利要求3所述的薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，所述黑白高速线阵相机与钙钛矿电池输送辊道平面夹角范围为75°至83°，且包含两端的值；所述黑白高速线阵相机扫描线方向平行于所述钙钛矿电池输送辊道轴线；

所述第1透射场线光源相对于所述钙钛矿电池输送辊道平面位于所述黑白高速线阵相机的对侧，且保证所述黑白高速线阵相机扫描线平面与所述第1透射场线光源出射平行光线平面重合；

所述第1反射场线光源位于所述黑白高速线阵相机的同侧，且与所述黑白高速线阵相机组成轴对称，对称轴为过所述黑白高速线阵相机扫描线平面与所述钙钛矿电池输送辊道平面的交线且垂直于所述钙钛矿电池输送辊道平面的平面；

所述第2反射场线光源位于所述黑白高速线阵相机组的同侧，所述第2反射场线光源出射平行光线平面穿过所述交线，且与所述钙钛矿电池输送辊道平面夹角范围为10°至30°，且包含两端的值。

5.根据权利要求3所述的薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，所述彩色高速线阵相机垂直于所述钙钛矿电池输送辊道平面；

所述第2透射场线光源相对于所述钙钛矿电池输送辊道平面位于所述彩色高速线阵相机的对侧，且保证所述彩色高速线阵相机扫描线平面与所述第2透射场线光源出射平行光线平面重合。

6.根据权利要求2至5任一项所述的薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，所述检测子系统，还包括：

前置图像处理平台，用于将所述信号处理平台发出的所述同步控制信号发送到所述黑白高速线阵相机和所述彩色高速线阵相机；对所述待测样品的黑白通道图像和所述待测样品的彩色通道图像进行预处理，并将经过预处理后的待测样品的多通道图像发送到所述数据处理服务器。

7.根据权利要求6所述的薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，所述前置图像处理平台，包括：

与所述彩色高速线阵相机对应的前置图像处理平台，用于将所述彩色通道图像从RGB颜色空间转换到Lab空间的算子；基于所述Lab空间，计算相对标准样本色差；根据预设相对标准样本色差阈值，得到缺陷区域图像；

与所述黑白高速线阵相机对应的前置图像处理平台，用于对所述黑白通道图像进行预处理计算并进行Blob联通计算；根据预设联通阈值，得到含有缺陷的Blob区域图像。