[发明专利]一种扩散炉用排气装置

说明书

本发明公开了一种扩散炉用排气装置，包括用于吸收扩散炉尾气中热量的储水箱，所述储水箱内固定有若干个用于处理扩散炉尾气的吸收瓶，若干个吸收瓶依次连通；所述储水箱侧壁上设置有与扩散炉尾气排管连通的进气管和用于排放处理后尾气的排气管；扩散炉尾气依次通过若干个所述吸收瓶进行多级处理；其中，每一个所述吸收瓶均盛载有用于处理扩散炉尾气吸收液，储水箱下方固定有用于收集吸收瓶内废旧吸收液的废液收集机构。本发明能够对扩散炉尾气进行多级过滤后再排放，过滤彻底，绿色环保，同时能够回收尾气中的热能，节省能源，便于收集吸收液废液，操作简单，省时省力，大大提高工作效率。

技术领域

本发明涉及晶体硅太阳电池生产技术领域，具体为一种扩散炉用排气装置。

背景技术

晶体硅太阳能电池具有转换效率较高，生产技术成熟的优点，占据绝大部分的光伏市场份额。目前，制造太阳电池的流程为：表面清洗及表面织构化、扩散、清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷电极、烧结形成欧姆接触、测试。这种商业化太阳能电池制造技术相对简单、成本较低，适合工业化、自动化生产，因而得到了广泛应用。

在制备晶体硅太阳能电池过程中，扩散制造PN结是核心技术，扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、镀膜、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。扩散炉通常包括：依次连接的气源系统、炉体、推拉舟和工作台等。

现有技术中扩散炉排气装置具有以下不足之处：

1.炉体在加热过程中会产生大量的有害气体，通过排气管排出的气体不仅污染环境，而且对工人的身体健康造成不良影响；

2.通过排气管排出的气体带走炉体内部的大量热量并排至环境空气中，排出的热量无法回收利用，造成热量损失，不具备良好的节能效果。

因此，如何提供一种扩散炉用排气装置，以提高环保性、安全性和节能性，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种扩散炉用排气装置，能够对扩散炉尾气进行多级过滤后再排放，过滤彻底，绿色环保，同时能够回收尾气中的热能，节省能源，便于收集吸收液废液，操作简单，省时省力，大大提高工作效率。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案。

本发明提供一种扩散炉用排气装置，包括用于吸收扩散炉尾气中热量的储水箱，所述储水箱内固定有若干个用于处理扩散炉尾气的吸收瓶，若干个吸收瓶依次连通；所述储水箱侧壁上设置有与扩散炉尾气排管连通的进气管和用于排放处理后尾气的排气管；扩散炉尾气依次通过若干个所述吸收瓶进行多级处理；

其中，每一个所述吸收瓶均盛载有用于处理扩散炉尾气吸收液，储水箱下方固定有用于收集吸收瓶内废旧吸收液的废液收集机构。

优选地，所述储水箱内固定有第二固定架，若干个所述吸收瓶均固定在第二固定夹上，若干个所述吸收瓶设置于储水箱内水面下方。

优选地，所述吸收瓶上设置有瓶塞、第一导管和第二导管，所述吸收瓶与其相对应的瓶塞密封连接；所述第一导管下端设置于吸收瓶内部底端，所述第二导管的下端设置于瓶塞上且与其对应的吸收瓶相连通，靠近进气管的吸收瓶上的第一导管上端贯穿瓶塞与进气管相连通，其余所有的吸收瓶的第一导管上端分别贯穿其对应的瓶塞与其相邻的吸收瓶的第二导管相连通；靠近排气管的吸收瓶上的第二导管上端与排气管相连通。

优选地，所述进气管上设置有单向阀和进气阀，扩散炉尾气能够通过所述单向阀进入第一导管内，第一导管内的扩散炉尾气不能够通过所述单向阀进入进气管。