[发明专利]用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉在审
| 申请号： | 202211268657.7 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN115679435A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 杨文武;张雯 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 宋东阳;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 单晶炉 防晶棒 掉落 装置 | ||
1.一种用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，包括设置在所述单晶炉的副炉室处的感测装置、抱接装置和止挡件，其中，
所述感测装置用于感测晶棒是否发生掉落；
所述抱接装置包括单独的抱接件，所述抱接装置用于根据所述感测装置感测到所述晶棒发生掉落而使所述抱接件抱接并固定至所述晶棒的外表面；以及
所述止挡件设置在所述抱接装置的下方，并且所述止挡件构造成能够止挡随掉落的所述晶棒下落的所述抱接件，以由此止挡所述晶棒。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述抱接装置包括电磁弹射装置，所述电磁弹射装置用于在所述感测装置感测到所述晶棒发生掉落时将所述抱接件电磁弹射至所述晶棒。
3.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述感测装置通过感测所述晶棒的移动方向和/或移动速率来判断所述晶棒是否发生掉落。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述感测装置在感测到所述晶棒向下移动且移动速率大于2mm/min时判定所述晶棒发生掉落。
5.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述抱接件包括多个弧形部段，所述多个弧形部段能够在所述抱接件抱接所述晶棒时绕所述晶棒的周向布置。
6.根据权利要求5所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述多个弧形部段均为磁体并且设置成使得所述多个弧形部段中的每相邻布置的两个弧形部段的磁性相反，以使得所述多个弧形部段在抱接所述晶棒时能够通过磁吸力固定至所述晶棒的外表面。
7.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述抱接装置布置在所述副炉室的下端处。
8.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述止挡件为固定至所述副炉室的内壁上的环形止挡件。
9.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述止挡件为设置在所述单晶炉的所述副炉室与主炉室之间的凸台。
10.一种单晶炉，其特征在于，包括根据权利要求1至9中的任一项所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置。
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