[发明专利]加工水再生装置

说明书

本发明提供加工水再生装置。在使用加工水再生装置的情况下，降低耗电量和工厂设备所提供的水的消耗量。加工水再生装置包含：废液处理装置，其对从使用加工水而对被加工物进行加工的加工装置排出的废液进行处理；以及燃料电池装置，其使氢和氧发生化学反应而产生电和水。废液处理装置包含：正电极和负电极，该正电极和该负电极配设于储存废液的容器内；以及氢生成单元，其通过向正电极和负电极提供电力而生成氢。燃料电池装置使氢生成单元所生成的氢和空气中的氧发生化学反应而产生电和水并供该加工装置利用。

技术领域

本发明涉及使加工水再生的加工水再生装置。

背景技术

例如如专利文献1所公开的那样，在对半导体晶片等进行加工的工厂中，希望降低所使用的水、电等能量的成本。另外，如专利文献2所公开的那样，使用加工水对被加工物进行加工的加工装置从包含加工屑的废液再生出加工水。即，使提供至加工装置的加工水在加工水再生装置中循环而进行再利用。

因此，将加工装置排出并储存于容器中的废液利用第1泵汲起而输送至过滤器，利用过滤器将加工屑去除，将去除了加工屑的清水利用第2泵压送至离子交换树脂，再生出超纯水。由于这样使泵可动而消耗电力。另外，循环开始的初期从工厂设备等将超纯水提供至加工装置等，这也会消耗水。

另外，在加工装置中产生的加工屑是硅屑的情况下，例如如专利文献3所公开的那样，在废液的容器中交替地配置阳极板和阴极板，向阳极板和阴极板提供直流电流，使硅屑附着于阳极板，从废液去除硅屑而再生出纯水。并且，在将潮湿的硅屑干燥时会产生氢，因此使硅屑干燥的干燥室不成为密室从而使氢释放至大气中(例如参照专利文献4)。

专利文献1：日本特开平07-000056号公报

专利文献2：日本特开2009-214193号公报

专利文献3：日本特开2013-119050号公报

专利文献4：日本特开2020-078783号公报

如上所述，加工装置使用加工水而对被加工物进行加工。另外，将从加工装置排出的废液作为加工水而再生的加工水再生装置需要从工厂提供纯水，并且为了输送废液而使各种泵可动等会消耗电力。

发明内容

由此，本发明的目的在于提供能够降低耗电量和工厂设备等提供的水的消耗量的加工水再生装置。

根据本发明，提供加工水再生装置，其中，该加工水再生装置具有：废液处理装置，其对从使用加工水而对被加工物进行加工的加工装置排出的废液进行处理；以及燃料电池装置，其使氢和氧发生化学反应而产生电和水，该废液处理装置包含：正电极和负电极，该正电极和该负电极配设于储存该废液的容器内；以及氢生成单元，其通过向该正电极和该负电极提供电力而生成氢，该燃料电池装置使该氢生成单元所生成的氢和空气中的氧发生化学反应而产生电和水并供该加工装置利用。

优选所述被加工物是硅，所述加工装置将包含磨削硅而得的硅屑的所述废液排出，所述废液处理装置包含：屑获取单元，其从该废液取出该硅屑而获取潮湿的该硅屑；以及干燥单元，其使潮湿的该硅屑干燥，将利用该干燥单元使该硅屑干燥时所产生的氢提供至所述燃料电池装置。

本发明的加工水再生装置能够使氢生成单元所生成的氢和空气中的氧发生化学反应而通过燃料电池装置产生电和水并供加工装置利用，因此能够抑制电力和水的消耗量。

另外，加工装置使包含磨削硅而得的硅屑的废液排出，废液处理装置包含使潮湿的硅屑干燥的干燥单元，因此能够将使硅屑干燥时所产生的氢提供至燃料电池装置，能够有效利用所产生的氢，并且能够进一步抑制电力和水的消耗。

附图说明

图1是示出磨削装置、加工水再生装置的废液处理装置和加工水再生装置的燃料电池装置的示意图。

图2是将水槽内的阳极板和阴极板的配置放大而示出的剖视图。