[发明专利]一种壳体传动式磁流体密封传动装置及其制造方法

说明书

本发明公开了一种壳体传动式磁流体密封传动装置，包括：一体式集成内轴，用于与真空腔体内部中心不动部件连接的轴件；一体式集成内轴上集成有磁流体密封组件；外轴，用于与真腔体安装部位固定连接的轴体，所述的外轴与一体式集成内轴固定连接，并与一体式集成内轴在径向上形成传动腔；传动壳体，用于将动力从大气侧传递到真空腔体内部的部件，传动壳体通过传动件转动式设置在一体式集成内轴和外轴中间，并与磁流体密封组件形成磁流体密封结构。还公开了该传动装置的制造方法。采用一体式集成内轴与外轴配合，传动壳体设置在内轴外轴中间进行转动，实现了单轴传动，实现了旋转部件转动中心部件不动的传递方式，传递效果好，密封性能高。

技术领域

本发明涉及磁流体密封技术领域，具体地涉及一种壳体传动式磁流体密封传动装置及其制造方法。

背景技术

磁流体密封传动装置广泛应用于半导体、光纤、医疗、人造卫星等涉及真空技术的设备中，主要目的是把真空腔外面的动力或特定气体传递到真空腔内部，并且保持真空腔内必要的真空度。其核心部分是磁流体，磁流体在磁流体密封传动装置中的作用相当于液体密封圈，能够起到动密封的效果。

磁流体密封传动装置一般包括壳体、密封组件和轴承；磁密封组件主要包括主轴、磁块、磁极1和磁极2、磁流体（也叫磁液），磁块位于磁极1和磁极2之间，主轴与磁块、磁极配合部位，加工有主轴齿，主轴齿与磁极配合间隙处，充满磁流体，在磁场作用下，起到密封作用。由于主轴上的齿形受到主轴结构及加工条件的限制，给加工带来及大的不便，而且也使得磁流体密封传动装置整体结构无法满足空间位置较小的真空传动要求，特别是主轴部件不动的传动。

常规的磁流体密封传动装置，其壳体安装在真空腔接口处，由主轴往真空腔内部传递动力。然而，有时真空腔体要求腔体的中心部件不动，而真空腔体则要求围绕中心部件转动，这样，常规结构的磁流体密封传动装置就无法实现传动。为了完成腔体的中心部件不动，而真空腔体要求围绕中心部件转动，目前采用的技术方案是，使用两个磁流体密封传动装置或双轴磁流体密封传动装置来实现这种特殊要求的传动。但是两个磁流体密封传动装置或双轴磁流体密封传动装置存在结构复杂，传递误差大，密封性能差等问题。

因此，急需要设计一种结构简单，传递效果好，密封性能强的磁流体密封传动装置来实现这种特殊要求的传动。

发明内容

本发明的目的是解决现有的磁流体密封传动装置存在结构复杂，传递误差大，密封性能差等问题，而提供一种结构简单，传递效果好，密封性能强，而且能够满足设备安装空间狭窄的安装要求，以及满足中心部件不动，而中心部件外侧旋转部件围绕中心部件传动的要求，并且能够实现单轴传动的壳体传动式磁流体密封传动装置及其制造方法。

本发明实现其第一个发明目的所采用的技术方案是：一种壳体传动式磁流体密封传动装置，包括：

一体式集成内轴，用于与真空腔体内部中心部件连接的轴件；所述的一体式集成内轴上集成有磁流体密封组件；

外轴，用于与真腔体安装部位固定连接的轴体，所述的外轴与一体式集成内轴固定连接，并与一体式集成内轴在径向上形成传动腔；

传动壳体，用于将动力从大气侧传递到真空腔体内部的部件，所述的传动壳体通过传动件转动式设置在传动腔内，并与磁流体密封组件形成磁流体密封结构。