[发明专利]一种叉指换能器及制备方法

说明书

本发明涉及一种叉指换能器及制备方法,其特征在于:在压电基片为127.8°YX型铌酸锂（LiNbO3）的表面，采用旋涂厚度为16～18μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间165s～175s；显影275s～285s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm±0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指换能器。

技术领域

本发明涉及到一种叉指换能器及制备方法。

背景技术

叉指式换能器，是声表面波(SAW)器件重要零件之一。声表面波器件在电子通讯系统中得到了广泛应用,如滤波器、高频振荡器、卷积器、延迟线、相关器等，以及在多个领域广泛应用。叉指式换能器，其设计尺寸和制备技术，成为影响其性能参数的关键技术。

文献检索和专利检索结果，目前国内还没有关于在127.8°YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用过度显影的剥离工艺、结合溅射纯度99.999%纯铝层制成叉指换能器的相关文献报导。

发明内容

本发明是一种应用于气体压力测试方面的叉指换能器及制备方法。本发明的任务是提供一种叉指换能器及制备方法, 本发明的任务是通过如下技术方案来实现的:在压电基片为127.8°YX型铌酸锂（LiNbO3）的表面，采用旋涂厚度为16～18μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间165s～175s；显影275s～285s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm±0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指换能器。

所述的一种叉指换能器及制备方法，其特征在于：在压电基片为127.8°YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用旋涂厚度为17μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间170s；显影280s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm±0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指换能器。

本发明者经过研究发现，在127.8°YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用过度显影的剥离工艺、结合溅射上高纯铝（纯度99.999%），可以保证溅射过程中形成上窄下宽的倒梯形图形，从而形成台阶覆盖，使得溅射得到的铝膜在台阶处有断裂，剥离液容易渗透到光刻胶，完成顺利的剥离；具有极好的测量气体压力等性能，同时具有良好的工作可靠性，可极大提升气体压力检测器件的工作可靠性，因此，研发新型的叉指换能器及制备方法，具有重要的应用价值和实用意义。