[发明专利]一种应用于刻蚀机的高压硅片吸附系统

权利要求书

1.一种应用于刻蚀机的高压硅片吸附系统，其特征在于，包括输入模块（1）、反激变换器（2）和电压极性控制模块（3）；

所述输入模块（1）用于提供驱动信号和功率；

所述反激变换器（2）包括变压器，所述变压器的一次侧（21）接收来自输入模块（1）的驱动信号和功率，二次侧包括两组绕组，每组所述绕组分别串联一个二极管（24）后与电容（25）和输出电阻（26）并联；第一绕组（22）的零电位端与第二绕组（23）的高电位端连接，第一绕组（22）的高电位端和第二绕组（23）的零电位端形成直流电压输出端；

所述电压极性控制模块（3）由呈H桥式排布的四个开关单元组成，每个开关单元包括一个继电器（31）和一个三极管（32）；所述继电器（31）的线圈一端接收来自输入模块（1）的功率，另一端连接所述三极管（32）的集电极；所述三极管（32）的发射极接地，基极接收来自输入模块（1）的驱动信号；所述继电器（31）的触点端包括第一触点端和第二触点端，第一触点端连接负载（4），第二触点端连接直流电压输出端；

所述反激变换器（2）还包括LC滤波电路（29），所述直流电压输出端连接所述LC滤波电路（29）；

所述输入模块（1）包括用于提供驱动信号的信号输入电路（11）；所述反激变换器（2）还包括一个驱动电路（27）和一个开关管（28），所述驱动电路（27）的输出端连接所述开关管（28）的控制端，所述开关管（28）与所述一次侧（21）的绕组串联；所述信号输入电路（11）输出第一控制信号（OUT1）到所述驱动电路（27），并控制所述开关管（28）的导通或关断；

当所述信号输入电路（11）输出第一控制信号（OUT1）到所述驱动电路（27），并驱动所述开关管（28）导通时，所述输入模块（1）的输入电压经过所述开关管（28）加在所述变压器一次侧（21）两端，所述二极管（24）反向阻断，直流电压输出端由所述电容（25）稳压；当所述信号输入电路（11）输出第一控制信号（OUT1）到所述驱动电路（27），并驱动所述开关管（28）关断时，所述变压器二次侧绕组经过所述二极管（24）输出到所述直流电压输出端，同时为所述电容（25）充能；

所述信号输入电路（11）的输出还包括第二控制信号（OUT2）和第三控制信号（OUT3），所述第二控制信号（OUT2）连接两个所述开关单元的三极管（32）的基极，所述第三控制信号（OUT3）连接另外两个所述开关单元的三极管（32）的基极；

当所述第二控制信号（OUT2）控制连接的两个开关单元的两个三极管（32）分别导通，并使两个所述继电器（31）触点端分别闭合，所述第三控制信号（OUT3）控制连接的另外两个开关单元的两个三极管（32）分别关断，并使另外两个所述继电器（31）触点端分别断开时，直流电压输出端的两端分别通过两个导通的继电器（31）正向连接在负载（4）两端；当所述第二控制信号（OUT2）控制连接的两个开关单元的两个三极管（32）分别关断，并使两个所述继电器（31）触点端分别断开，所述第三控制信号（OUT3）控制连接的另外两个开关单元的两个三级管分别导通，并使另外两个继电器（31）触点端分别闭合时，直流电压输出端的两端分别通过两个导通的继电器（31）反向连接在负载（4）两端；

还包括有采样电路（33），所述采样电路（33）与所述负载（4）并联；

所述采样电路（33）包括串联的多个限流电阻；

每个所述开关单元还包括一个稳压电容（34），所述稳压电容（34）的一端连接所述继电器（31）线圈连接电源的一端，所述稳压电容（34）的另一端接地；

每个所述开关单元的继电器（31）的线圈反向并联一个续流二极管（35）；

所述输入模块（1）还包括功率输入电路（12），用于为系统提供功率输入，所述功率输入电路（12）输出包括第一功率输入（VIN1）、第二功率输入（VIN2）和第三功率输入（VIN3），所述第一功率输入（VIN1）连接驱动电路（27），所述第二功率输入（VIN2）连接所述继电器（31）的线圈，所述第三功率输入（VIN3）连接所述变压器的一次侧;

反激变换器（2）在开关管（28）导通或关断时分为两个工作模态，当所述信号输入电路（11）输出第一控制信号OUT1到所述驱动电路（27），并驱动所述开关管（28）导通时，所述输入模块（1）的输入电压经过所述开关管（28）加在所述变压器一次侧（21）两端，所述二极管（24）反向阻断，直流电压输出端由所述电容（25）稳压；当所述信号输入电路（11）输出第一控制信号OUT1到所述驱动电路（27），并驱动所述开关管（28）关断时，所述变压器二次侧绕组经过所述二极管（24）输出到所述直流电压输出端，同时为所述电容（25）充能；从而在反激变换器（2）的输出端输出稳定的高压直流电；

反激变换器（2）一次侧（21）连接第三功率输入VIN3并输入24V直流功率信号，第一控制信号OUT1驱动开关管（28）的导通或关断，并使反激变换器（2）在两个工作模态间转换，第一绕组（22）负载的零电位端与第二绕组（23）负载的高电位相连接，使第一绕组（22）的高电位端输出+2000V电位，第二绕组（23）的低电位端输出-2000V电位，连接点输出零电位；

所述继电器（31）为干簧式继电器;

所述三极管（32）是常开型器件或常闭型器件。