[发明专利]一种串扰测试组件和串扰测试方法有效
申请号: | 202211219129.2 | 申请日: | 2022-10-08 |
公开(公告)号: | CN115291089B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 请求不公布姓名 | 申请(专利权)人: | 本源量子计算科技(合肥)股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 组件 方法 | ||
1.一种串扰测试组件,其特征在于,包括:
第一线路;
与第一线路耦合的至少三条第二线路,沿着第一线路的延伸轨迹间隔地分布,所述至少三条第二线路包括基准线路和至少两条对照线路,其中,第一线路为读取总线,基准线路和对照线路为读取谐振腔,各个读取谐振腔的腔频率不同,且差距小于50MHz;以及
与所述至少两条对照线路一一对应的至少两个串扰抑制单元,每个串扰抑制单元包括至少一个抑制元件;
抑制元件设置于第一线路和至少两条对照线路的耦合区域,并且被配置为弱化第一线路和对照线路之间的串扰;
其中,抑制元件弱化串扰的性能通过测定并比较各个读取谐振腔的品质因数而确定;
其中,抑制元件是超导元件、且是应用于倒装芯片中的倒装互连结构,且倒装互连结构还作为信号传输通道;
抑制元件与第一线路和第二线路均未接触,抑制元件位于第一线路和对照线路之间。
2.根据权利要求1所述的串扰测试组件,其特征在于,互连结构为铟柱。
3.根据权利要求1或2所述的串扰测试组件,其特征在于,串扰抑制单元具有关联于弱化程度的特征参数,特征参数包括抑制元件的数量、形状、尺寸和位置中的任意一个或多个的组合。
4.一种串扰测试方法,其特征在于,包括:
提供根据权利要求1至3中任意一项所述的串扰测试组件;
测定第一线路和基准线路之间的第一耦合强度,以及测定第一线路和对照线路之间的第二耦合强度;
比较第一耦合强度和第二耦合强度,以确定抑制元件弱化串扰的程度。
5.一种串扰测试方法,其特征在于,包括:
提供根据权利要求1至3中任意一项所述的串扰测试组件,且第一线路为读取总线,基准线路和对照线路为读取谐振腔时;
测定并比较各个读取谐振腔的品质因数,以确定抑制元件弱化串扰的性能。
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