[发明专利]粒子束系统

权利要求书

1.一种粒子束系统(1)，包括：

粒子束柱(10)，该粒子束柱被配置用于产生粒子束(2)并将其引导到样品(3)上，由此该样品(3)发射带电粒子(41)；

用于检测所述带电粒子(41)的检测系统(40)，其中，该检测系统(40)包括电极(E)、电势源(42)、闪烁体(43)、和光检测器(44)，

其中，该电势源(42)被配置用于向该电极(E)施加可调电势，由此所述带电粒子(41)可被加速至该闪烁体(43)，

其中，该闪烁体(43)被配置为由于所述带电粒子(41)与该闪烁体(43)的相互作用而发射光(46)，并且

其中，该光检测器(44)被配置用于检测该闪烁体(43)发射的光(46)、并输出与所检测到的光(46)相对应的检测信号；以及

控制器(30)，该控制器控制该电势源(42)并且被配置为基于该检测信号来改变电势，使得该闪烁体(43)在其饱和之外操作并且使得该光检测器(44)在其饱和之外操作。

2.根据权利要求1所述的粒子束系统(1)，

其中，该光检测器(44)被配置用于将所检测到的光(46)的信号以一定增益放大、并将放大后的信号作为该检测信号输出，该增益可调节至最大增益；

其中，基于该检测信号来调节电势，使得即使该光检测器(44)被调节到其最大增益，该光检测器(44)也将在其饱和之外操作。

3.根据权利要求1或2所述的粒子束系统(1)，其中，该控制器(30)被配置用于增大该电势并且减小该光检测器(44)的增益，以增大该检测信号的信噪比。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的粒子束系统(1)，

其中，如果该检测信号大于第一极限值，尤其是如果该检测信号大于该第一极限值的时间长于预定义的第一极限持续时间，则降低该电势；和/或

其中，如果该检测信号小于第二极限值，尤其是如果该检测信号小于该第二极限值的时间长于预定义的第二极限持续时间，则增大该电势。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的粒子束系统(1)，其中，该控制器(30)被配置用于：

使用该粒子束柱(10)和该检测系统(40)、基于该检测信号来记录该样品(3)的图像，

对该图像应用预定分析例程，由此该控制器(30)产生图像分析结果，以及

如果该图像分析结果对应于预定义指标，则改变该电势。

6.根据权利要求5所述的粒子束系统(1)，其中，该图像分析结果表示：

该图像的强度的最大值；和/或

该图像的强度的平均值；和/或

该图像的强度的中值。

7.一种粒子束系统，包括：

粒子束柱(10)，该粒子束柱被配置用于产生粒子束(2)并将其引导到样品(3)上，由此该样品(3)发射带电粒子(41)；

用于检测所述带电粒子(41)的检测系统(40)，其中，该检测系统(40)包括电极(E)、电势源(42)、闪烁体(43)、和光检测器(44)，

其中，该电势源(42)被配置用于向该电极(E)施加可调电势，由此所述带电粒子(41)可被加速至该闪烁体(43)，

其中，该闪烁体(43)被配置为由于所述带电粒子(41)与该闪烁体(43)的相互作用而发射光(46)，并且

其中，该光检测器(44)被配置用于检测该闪烁体(43)发射的光(46)、并输出与所检测到的光(46)相对应的检测信号；

数据存储单元(71)，该数据存储单元被配置用于存储指明关于该样品(3)的信息和/或关于该粒子束柱(10)的至少一个操作参数的调节的信息的应用数据；以及

控制器(30)，该控制器控制该电势源(42)并且被配置为基于该应用数据来改变电势，使得该闪烁体(43)在其饱和之外操作并且使得该光检测器(44)在其饱和之外操作。