[发明专利]一种抛光装置

说明书

本说明书实施例提供一种抛光装置，涉及磨削技术领域，抛光装置包括：夹具，用于吸附工件；驱动机构，用于驱动夹具移动；抛光盘，用于抛光工件；其中，抛光盘包括基座、第一弹性层和第二弹性层，第一弹性层设置于基座与第二弹性层之间，第一弹性层的弹性模量小于第二弹性层的弹性模量。该抛光装置可提高超薄玻璃的抛光效率，并减少超薄玻璃抛光时的损伤。

技术领域

本说明书涉及磨削技术领域，特别涉及一种超薄玻璃抛光装置。

背景技术

随着科技迅速发展，人们日常使用的一些光电产品越来越向轻薄化、轻量化发展，超薄玻璃因其良好的热稳定性、化学稳定性和光学性能等优良特性，成为一种重要的基础材料。超薄玻璃属于脆性材料，由于其厚度很低，在切削和抛光等精密加工过程中极易破碎。因此，如何实现超薄玻璃表面的精密抛光是业内广泛关注的问题，有必要提供一种高效安全的抛光装置，提高超薄玻璃的抛光效率，并减少超薄玻璃损伤。

发明内容

本说明书实施例之一提供一种抛光装置，包括：夹具，用于吸附工件；驱动机构，用于驱动所述夹具移动；抛光盘，用于抛光所述工件；其中，所述抛光盘包括基座、第一弹性层和第二弹性层，所述第一弹性层设置于所述基座与所述第二弹性层之间，所述第一弹性层的弹性模量小于所述第二弹性层的弹性模量。

在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量与所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围为11:17~1:2。

在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为35MPa~55MPa。

在一些实施例中，所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为70MPa~85MPa。

在一些实施例中，所述第一弹性层的厚度取值范围为15mm~25mm时，所述第一弹性层的弹性模量取值范围为35MPa~55MPa。

在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量小于沿平行于抛光面的方向的弹性模量。

在一些实施例中，所述第二弹性层包括纤维结构，所述纤维结构能够沿平行于抛光面的方向伸展。

在一些实施例中，所述夹具包括一个或多个第一孔，通过所述一个或多个第一孔向所述夹具提供吸附所述工件的负压。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔的孔径范围为0.3mm~1mm。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔的孔径与所述工件的厚度的比值的取值范围为3:1~4:1。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔在所述夹具的吸附面上均匀分布，相邻的所述第一孔之间的间距的取值范围为2mm~3.5mm。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔中的至少一个包括柔性膜，所述柔性膜覆盖所述一个或多个第一孔中的至少一个的吸附端。

在一些实施例中，所述夹具还包括气体接口，所述一个或多个第一孔与所述气体接口连通。

在一些实施例中，所述夹具还包括一个或多个第二孔和存气腔，所述一个或多个第二孔与所述存气腔的一端连通，所述存气腔的另一端与所述气体接口连通；所述存气腔中设置有气量调节结构。

在一些实施例中，所述气量调节结构包括活塞以及连接所述活塞的弹性件，所述弹性件处于初始状态时，所述活塞与所述存气腔中连通所述气体接口的一端之间具有预设距离。

在一些实施例中，所述预设距离不小于所述存气腔长度的一半。

在一些实施例中，所述一个或多个第二孔在所述夹具的吸附面上均匀分布。

在一些实施例中，所述夹具包括一个或多个阀门，所述一个或多个阀门控制所述气体接口的开闭。