[发明专利]一种抛光装置

权利要求书

1.一种抛光装置，其特征在于，包括：

夹具，用于吸附工件；

驱动机构，用于驱动所述夹具移动；

抛光盘，用于抛光所述工件；

其中，所述抛光盘包括基座、第一弹性层和第二弹性层，所述第一弹性层设置于所述基座与所述第二弹性层之间，所述第一弹性层的弹性模量小于所述第二弹性层的弹性模量；

所述夹具包括一个或多个第一孔，所述夹具通过所述一个或多个第一孔向所述工件提供负压；

所述一个或多个第一孔中的至少一个包括柔性膜，所述柔性膜覆盖所述一个或多个第一孔中的至少一个的吸附端；所述柔性膜为透气的薄膜；

所述夹具还包括气体接口，所述一个或多个第一孔与所述气体接口连通；

所述夹具还包括一个或多个第二孔和存气腔，所述一个或多个第二孔与所述存气腔的一端连通，所述存气腔的另一端与所述气体接口连通；所述存气腔中设置有气量调节结构；

所述气量调节结构包括活塞以及连接所述活塞的弹性件，所述弹性件处于初始状态时，所述活塞与所述存气腔中连通所述气体接口的一端之间具有预设距离。

2.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量与所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围为11:17~1:2。

3.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为35MPa~55MPa。

4.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为70MPa~85MPa。

5.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一弹性层的厚度取值范围为15mm~25mm时，所述第一弹性层的弹性模量取值范围为35MPa~55MPa。

6.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量小于沿平行于抛光面的方向的弹性模量。

7.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第二弹性层包括纤维结构，所述纤维结构能够沿平行于抛光面的方向伸展。

8.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述一个或多个第一孔的孔径范围为0.3mm~1mm。

9.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述一个或多个第一孔的孔径与所述工件的厚度的比值的取值范围为3:1~4:1。

10.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述一个或多个第一孔在所述夹具的吸附面上均匀分布，相邻的所述第一孔之间的间距的取值范围为2mm~3.5mm。

11.如权利要求10所述的抛光装置，其特征在于，所述预设距离不小于所述存气腔长度的一半。

12.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述一个或多个第二孔在所述夹具的吸附面上均匀分布。

13.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具包括一个或多个阀门，所述一个或多个阀门控制所述气体接口的开闭。

14.如权利要求13所述的抛光装置，其特征在于，所述阀门的数量包括两个。

15.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括抛光液过滤网。