[发明专利]一种用于修复碲化镉薄膜砂眼的碳基复合浆料及其应用

权利要求书

1.一种用于修复碲化镉薄膜砂眼的碳基化合物半导体复合浆料，其特征在于，该复合浆料包含以下质量份数的组分：

所述的碳粉的粒径为5nm～30nm，纯度大于99.999％；

所述的碲化镉粉的粒径为5nm～20nm，纯度大于99.999％；

所述的复合浆料的电阻率与待修复的碲化镉薄膜的电阻率相一致。

2.根据权利要求1所述的用于修复碲化镉薄膜砂眼的碳基化合物半导体复合浆料，其特征在于，所述的有机粘接剂的成分为丙烯酸树脂；所述的表面活性剂的成分为山梨糖醇酐三油酸酯；所述的触变剂的成分为蓖麻油；所述的分散剂的成分为月桂酸。

3.一种如权利要求1或2所述的复合浆料修复碲化镉薄膜砂眼的方法，其特征在于，该方法包含：

(1)将有机粘接剂、表面活性剂、触变剂和分散剂进行混合得到溶浆，将碳粉和碲化镉粉加入溶浆混合，分散，得到碳基化合物半导体复合浆料；

(2)将步骤(1)制得的碳基化合物半导体复合浆料均匀旋涂在碲化镉薄膜上，先于60～100℃保温，然后在180～220℃保温，最后升温至350～400℃保温，并在升温至350～400℃的过程中动态抽真空，所述动态抽真空过程为：重复抽出气体和充入惰性气体过程，以排除固化过程挥发的气体，同时保持惰性气体氛围。

4.根据权利要求3所述的复合浆料修复碲化镉薄膜砂眼的方法，其特征在于，所述的动态抽真空是先利用机械泵将固化箱内的气体抽至1Pa，然后在固化箱内充入纯度为99.999％的氮气，使箱体气压达到10KPa，然后利用机械泵将氮气抽出，使得箱体内气压达到1Pa，再充入纯度为99.999％的氮气，使箱体气压达到10KPa；重复若干次后，待箱体内气压为1Pa时升温，升温过程中，纯度为99.999％的氮气持续充入箱体的同时，机械泵处于抽气状态，使箱内气压一直为1Pa。

5.根据权利要求3所述的复合浆料修复碲化镉薄膜砂眼的方法，其特征在于，于60～100℃保温的时间为10分钟。

6.根据权利要求3所述的复合浆料修复碲化镉薄膜砂眼的方法，其特征在于，在180～220℃保温的时间为20分钟。

7.根据权利要求3所述的复合浆料修复碲化镉薄膜砂眼的方法，其特征在于，升温至350～400℃保温的时间为30分钟。

8.根据权利要求3所述的复合浆料修复碲化镉薄膜砂眼的方法，其特征在于，所述的旋涂的转速为100～2000转/分钟。

9.一种如权利要求1-2中任意一项所述的用于修复碲化镉薄膜砂眼的碳基化合物半导体复合浆料在修复碲化镉薄膜砂眼中的应用。