[发明专利]一种用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液及其制备方法

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，其pH值为9–14，按质量百分含量由以下组分组成：

氧化铝：20％–30％；

络合剂：1％–10％；

pH调节剂：0.5％–2％；

分散剂：0.1％–5％；

水：余量；

其中，所述氧化铝为煅烧氧化铝，通过选自烧结法、拜耳法或烧结-拜耳联合法制备得到；

所述络合剂选自15-冠醚-5、18-冠醚-6、二苯丙-18-冠醚-6、1,4-二羧基苯丙-15-冠醚-5、12-冠醚-4、羟基乙叉二磷酸、二乙烯三胺五乙酸、谷氨酸二乙酸、次氮基三乙酸、2-膦酸丁烷-1、2,4-三羧酸中的一种或多种。

2.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述煅烧氧化铝的粒径为0.3–3um，选自球形、类球形、片状、珊瑚状、米粒状或层状中的一种。

3.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述煅烧氧化铝的粒径为0.3–1um，通过拜耳法制备得到，其中α转化率为70％–99％，煅烧温度为900–1300℃。

4.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述煅烧氧化铝为无定形，通过拜耳法制备得到，其中α转化率为80％–95％，煅烧温度为1200℃。

5.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述络合剂选自15-冠醚-5或18-冠醚-6。

6.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述pH调节剂为无机碱和有机碱复合；其中：

所述无机碱选自氢氧化钠或氢氧化钾；

所述有机碱选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、AMP-95、三亚乙基二胺中的一种或多种。

7.根据权利要求6所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述无机碱为氢氧化钾，所述有机碱选自乙醇胺、三乙醇胺、AMP-95中的一种。

8.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，所述分散剂选自毕克化学DISPERSANT-154、190、191、2055、420、H7625VF，或天津赫普菲乐DS-195L、DS-165A、DS-162G，或禾大5980，或巴斯夫CP-88、PA-25、LF-900、LF-901，或索尔维RE-610，或陶氏850E中的一种。

9.根据权利要求8所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述分散剂选自天津赫普菲乐DS-195L、巴斯夫CP-88、禾大5980中的一种。

10.权利要求1至9任一项所述用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将氧化铝、水和分散剂进行砂磨，制备氧化铝浆料；

(2)砂磨后的氧化铝浆料添加水、络合剂和pH调节剂，上述原料混合搅拌均匀，即得。