[发明专利]一种电子特气铝瓶加热装置在审

专利信息
申请号: 202211065172.8 申请日: 2022-09-01
公开(公告)号: CN115654743A 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 王占峰;刘海涛;蔡俊 申请(专利权)人: 合肥正帆电子材料有限公司
主分类号: F24H7/06 分类号: F24H7/06;F24H9/1863;F24H15/208;F24H15/212;F17C7/04
代理公司: 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 代理人: 朱晗
地址: 230000 安徽省合肥市肥东县*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子 特气铝瓶 加热 装置
【说明书】:

发明公开了一种电子特气铝瓶加热装置,包括对称设置的两个夹套、保温热水箱和控制箱,所述夹套均呈与铝瓶相对应的半月型,两个夹套后侧均设有相互铰接的铰链,所述保温热水箱内设有循环水;两个所述夹套内均设有盘管,两个盘管下端连接有连接管,两个盘管上端分别设有进水端和回水端;所述进水端外侧连接有进水管,所述进水管上设有进水阀,且进水管贯通连接在保温热水箱侧壁下部,所述回水端外侧连接有回水管。本发明设计新颖,结构合理,有效的保证了电子特气使用温度的可控性和稳定性,保证了电子特气加热温度的调节效果,并保证了对电子特气铝瓶的传热效率,保证了对电子特气的加热效果,很大程度的提高了电子特气使用的安全性。

技术领域

本发明涉及电子特气设备技术领域,尤其涉及一种电子特气铝瓶加热装置。

背景技术

电子特气是集成电路、平板显示、发光二极管及太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料,被广泛的应用于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺,在使用电子特气的时候一般用气瓶进行存储输送使用。

电子特气在铝瓶内为液态储存,使用时需要将电子特气升温为气态,因此需要对电子特气钢瓶进行加热。

现有的电子特气铝瓶加热装置一般使用电加热或电吹风加热,加热时铝瓶的温度不可控,且容易发生电器断路着火,有较大的安全风险,同时也不能保证加热温度的均匀性和稳定性,不方便根据需要对电子特气的温度进行调节,使用效果较差。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在温度不可控,且容易发生电器断路着火,有较大的安全风险,同时也不能保证加热温度的均匀性和稳定性,不方便根据需要对电子特气的温度进行调节,使用效果较差的缺点,而提出的一种电子特气铝瓶加热装置。

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:

一种电子特气铝瓶加热装置,包括两个夹套、保温热水箱和控制箱,所述夹套对称设置并呈与铝瓶相对应的半月型,两个夹套后侧均设有连接槽,连接槽内分别设有相互铰接的铰链,所述保温热水箱内设有循环水。

两个所述夹套内均设有盘管,两个盘管下端连接有连接管,两个盘管上端分别设有进水端和回水端。

所述进水端外侧连接有进水管,所述进水管上设有进水阀,且进水管贯通连接在保温热水箱侧壁下部,所述回水端外侧连接有回水管,所述回水管上设有回水阀,且回水管贯通连接在保温热水箱的侧壁上部,所述回水管上还设有热水循环泵。

所述保温热水箱内设有加热器。

优选的,两个所述夹套的侧壁前部均设有握把。

优选的,所述保温热水箱内还设有温度控制器。

优选的,其中一个所述夹套前侧设有多个卡接母座,另一个夹套前侧设有多个于卡接母座相匹配的卡接公头,且卡接母座和卡接公头内均设有相对应的电磁锁。

优选的,两个所述盘管均呈S型延伸,且两个夹套内对应盘管的外侧均设有保温层,且连接管外侧也设有保温层。

优选的,两个所述夹套相近一侧侧壁上均铺设有导热垫。

优选的,所述连接管下端贯通连接有排污管,所述排污管上设有排污阀。

优选的,所述保温热水箱的侧壁上部还贯通连接有补水管,所述补水管上设有补水阀。

更优选的,所述保温热水箱内腔上部还设有水位感应器。

优选的,所述控制箱通过电气连接线与电磁锁、排污阀、进水阀、回水阀、热水循环泵、温度控制器、加热器、补水阀和水位感应器电性连接。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:

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