[发明专利]一种BN板的回收利用方法在审
申请号: | 202211003211.1 | 申请日: | 2022-08-19 |
公开(公告)号: | CN115351629A | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 孙健;王高强 | 申请(专利权)人: | 南充三环电子有限公司;德阳三环科技有限公司 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B1/00;C04B41/87 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 薛梦 |
地址: | 637000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 bn 回收 利用 方法 | ||
本发明公开了一种BN板的回收利用方法,属于陶瓷技术领域,包括以下步骤:在使用过的BN板上涂覆含碳浆料;将涂覆浆料后的BN板进行烧结;烧结后对BN板进行减薄处理,减薄厚度为30~50um。本发明通过在使用过的BN板上涂覆含碳浆料,进行烧结,烧结后,对其进行磨削,即可有效的去除杂质,经过处理后,磨削厚度大大降低(不经过处理,需要磨削0.4~0.8mm),从而使其能够继续使用;在高温下,YAG具有一定的流动性,存在由浓度高的地方向浓度低的地方迁移的现象,本发明利用碳与表层的YAG反应,从而促进内部的YAG向表层迁移,仅需磨削30~50um,即可去除杂质,从而极大的提高了BN板的使用寿命。
技术领域
本发明涉及陶瓷技术领域,具体涉及一种BN板的回收利用方法。
背景技术
BN板通常被用于氮化铝基板的烧结工序,起承烧作用。氮化铝烧结过程中会产生钇铝石榴石(YAG),烧结过程中存在少量钇铝石榴石、氧化铝等杂质渗入BN板中,同时钇铝石榴石亦将少量氮化铝吸附在BN板表面,影响后续氮化铝基板的烧结外观及导热、强度等性能,同时也导致BN板的使用寿命大大降低,提高了生产成本。
现有工艺通常直接采用研磨处理对BN板进行打磨,从而去除表面的YAG杂质,但采用打磨需要磨削0.4~0.8mm,极度影响了BN板的使用和造成资源浪费。因此,如何对使用过的BN板进行处理,从而去除表面的YAG,使其能够继续使用,成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种BN板的回收利用方法,可有效的去除杂质,经过处理后,磨削厚度大大降低(不经过处理,需要磨削0.4~0.8mm),从而使其能够继续使用。
为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:
一种BN板的回收利用方法,包括以下步骤:
在使用过的BN板上涂覆含碳浆料;
将涂覆浆料后的BN板进行烧结;
烧结后对BN板进行减薄处理,减薄厚度为30~50um。
本发明的发明人在大量的研究中发现,使用过后的BN板由于表面含有杂质,从而影响其外观及性能,造成其继续使用会影响到氮化铝基板的烧结外观及导热、强度等性能,因此,需要对BN板进行回收处理。
本发明通过在使用过的BN板上涂覆含碳浆料,进行烧结,烧结后,对其进行磨削,即可有效的去除杂质,经过上述处理后,磨削厚度大大降低(不经过处理,需要磨削0.4~0.8mm),从而使其能够继续使用。
发明人进一步探究了其机理,发现,在高温(烧结)下,YAG具有一定的流动性,存在由浓度高的地方向浓度低的地方迁移的现象,利用碳与表层的YAG反应,从而促进内部的YAG向表层迁移,仅需磨削30~50um,即可去除杂质,从而极大的提高了BN板的使用寿命。
作为本发明的优选实施方案,所述含碳浆料包括石墨浆料、炭黑浆料、活性炭浆料、碳纳米管浆料、石墨烯浆料中的至少一种。
发明人在大量的碳源中进行摸索,发现,采用上述所述的无机碳源浆料,能够有效的与YAG反应,从而将其磨削去除,而使用有机碳源,由于有机碳源含有H、O,在烧结前需要将H、O去除,会极大的增加处理步骤,提高成本,因此,在本发明中,需要选择石墨、炭黑、活性炭、碳纳米管、石墨烯这类无机碳源。
作为本发明的优选实施方案,所述含碳浆料包括石墨浆料、炭黑浆料、活性炭浆料中的至少一种。
作为本发明的优选实施方案,所述含碳浆料为石墨浆料。
作为本发明的优选实施方案,所述石墨浆料的质量浓度为10~50%;所述炭黑浆料的质量浓度为10~50%;所述活性炭浆料的质量浓度为10~50%;所述碳纳米管浆料的质量浓度为10~50%;所述石墨烯浆料的质量浓度为10~50%。
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