[发明专利]激光波长测量装置及方法有效
| 申请号: | 202211002651.5 | 申请日: | 2022-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN115096455B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
| 发明(设计)人: | 于学成;陈家洛;陆翼森 | 申请(专利权)人: | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
| 主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 杨萌 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光 波长 测量 装置 方法 | ||
本发明提供了一种激光波长测量装置及方法,涉及半导体激光器的技术领域,激光波长测量装置包括:夹具,夹具包括第一导电分流结构和第二导电分流结构,第一导电分流结构上设置有第一开口、第二开口、第三开口和第四开口,第一导电分流结构内部设置有连通第一开口和第二开口的第一流道、连通第三开口和第四开口的第二流道以及连通第一流道和第二流道的第三流道;第二导电分流结构上设置有第五开口和第六开口以及连通第五开口和第六开口的第四流道;第一开口和第四开口用于进液和出液,第二开口用于与激光器的第一接口连接,第三开口用于与激光器的第二接口连接,第五开口用于与激光器的第三接口连接,第六开口用于与激光器的第四接口连接。
技术领域
本发明涉及半导体激光器技术领域,尤其是涉及一种激光波长测量装置及方法。
背景技术
目前微小流量冷却的激光器产品测试时,控制液体流量是通过较高精度流量计来实现控制监测流入产品的实时流量;随着半导体激光器的普及应用,越来越多的科研、工业等行业对激光器的使用也越来越多,对激光器产品的参数性能要求也越来越高。对应的激光器参数测试要求也越来越精准。
目前针对微小流量液体冷却的激光器,在测试时通常是用较高精度的流量计来测量/监控通过激光器产品(测试夹具)的流量,但是由于流量有一定的波动性,在实际测试过程中通过激光器产品的液体因为流量较小,管路流量波动的百分比相对较大会对测试参数有影响,导致测试误差相对较大。例如:产品需要0.2L/min流量液体冷却,管路流量波动0.02L/min,对产品的流量影响即为10%。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光波长测量装置及方法,以缓解现有激光器波长测试中,管路流量波动的百分比相对较大会对测试参数有影响,导致测试误差相对较大的技术问题。
第一方面,本发明实施例提供的一种激光波长测量装置,包括:夹具,所述夹具包括第一导电分流结构和第二导电分流结构,所述第一导电分流结构和第二导电分流结构二者中,其中一者用于与激光器的正极贴合,另一者用于与激光器的负极贴合;
所述第一导电分流结构上设置有第一开口、第二开口、第三开口和第四开口,所述第一导电分流结构内部设置有连通第一开口和第二开口的第一流道、连通第三开口和第四开口的第二流道以及连通第一流道和第二流道的第三流道;
所述第二导电分流结构上设置有第五开口和第六开口以及连通第五开口和第六开口的第四流道;
所述第一开口和第四开口用于进液和出液,所述第二开口用于与激光器的第一接口连接,所述第三开口用于与激光器的第二接口连接,所述第五开口用于与激光器的第三接口连接,所述第六开口用于与激光器的第四接口连接,以使所述激光器内部的水路分别与第三流道和第四流道并联。
进一步的,所述第一导电分流结构包括可拆卸连接的第一导电部和第一分流部,所述第一导电部与激光器贴合,所述第一开口和第四开口位于所述第一分流部上,所述第一分流部上还设置有第七开口和第八开口,所述第一分流部内具有连通第一开口和第七开口的第一支流道和连通第四开口和第八开口的第二支流道;所述第三流道位于第一分流部内,且所述第三流道分别与第一支流道和第二支流道连通;
所述第二开口和第三开口位于所述第一导电部上,所述第一导电部上还具有第九开口和第十开口;所述第一导电部内具有连通第二开口和第九开口的第三支流道以及连通第三开口和第十开口的第四支流道;
所述第一支流道和第三支流道连通形成第一流道;所述第二支流道和第四支流道连通形成第二流道。
进一步的,所述第二导电分流结构包括可拆卸连接的第二导电部和第二分流部,所述第二导电部与激光器贴合,所述第五开口和第六开口设置在所述第二导电部上,所述第二导电部上还设置有第十一开口和第十二开口,所述第二导电部内部设置有连通第五开口和第十一开口的第五支流道,以及连通第六开口和第十二开口的第六支流道;
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