[发明专利]一种高纯有机铝改性酸性硅溶胶及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)在常温下，将0.005–0.1mol有机铝改性剂溶解在0.2–2mol体系溶剂中，再加入1mol硅源，得到无色透明的硅源溶液；

(2)将2–9.8mol体系溶剂加入到四口烧瓶中；

(3)将0.1–1mol的有机碱溶液稀释，得到浓度为2％–10％的碱溶液；

(4)在搅拌和15–50℃的条件下，所述硅源溶液和碱溶液同步滴加至四口烧瓶中，滴加时间为30–120分钟；

(5)滴加完毕后继续搅拌30分钟，陈化24–72小时后浓缩至所需浓度，得到铝改性硅溶胶；

(6)用有机酸调节所述铝改性硅溶胶pH至2–4，得到高纯有机铝改性酸性硅溶胶。

2.根据权利要求1所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述有机铝改性剂为有机铝盐，选自异丙醇铝、乙酰丙酮铝、三乙醇铝中的一种或两种以上组合，所述有机铝盐与硅源的摩尔比为0.005–0.05：1。

3.根据权利要求2所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述有机铝盐与硅源的摩尔比为0.005–0.02：1。

4.根据权利要求1所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述体系溶剂选自甲醇、乙醇、异丙醇中的一种或两种以上组合，所述体系溶剂与硅源的摩尔比为4–10：1。

5.根据权利要求4所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述体系溶剂与硅源的摩尔比为6–8：1。

6.根据权利要求1所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述硅源选自硅酸甲酯、硅酸乙酯、硅酸丙酯中的一种或两种以上组合。

7.根据权利要求1所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述有机碱选自氨水、二甲基乙醇胺、四甲基氢氧化铵中的一种或两种以上组合，所述有机碱溶液与硅源的摩尔比为0.1–0.5：1。

8.根据权利要求1所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，所述浓缩为超滤、加热蒸馏或添加去离子水置换体系溶剂中的一种；和/或步骤(6)中所述有机酸选自甲酸、醋酸、柠檬酸、草酸中的一种或两种以上组合。

9.一种高纯有机铝改性酸性硅溶胶，通过权利要求1–8任一项所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶的制备方法得到，其pH至2–4，平均粒径为10–300nm。

10.权利要求9所述高纯有机铝改性酸性硅溶胶在半导体抛光中的应用。