[发明专利]微机电声音换能器系统

权利要求书

1.一种微机电扬声器系统，实施为片上系统或系统级封装，包括：

微机电声音产生装置，实现为微机电系统，其中，所述微机电系统包括在平面的盖、平面的基座和设置在所述盖和所述基座之间的周向侧壁之间的空腔，

其中，所述微机电系统还包括用于产生声音的多个可移动的致动器，其中，所述致动器设置在所述盖和所述基座之间的所述空腔中，并且其中，所述盖包括多个声音出口开口以在横向于所述盖的方向上发出声音；

麦克风，安装在所述盖上或集成在所述盖中，其中，所述麦克风定位成与所述盖的至少一个声音出口开口相邻。

2.根据权利要求1所述的微机电扬声器系统，其中，在所述麦克风和相邻的至少一个声音出口开口之间的声路小于或等于2mm。

3.根据权利要求1所述的微机电扬声器系统，其中，所述微机电扬声器系统实施主动噪声消除功能，

其中，所述麦克风配置成检测干扰噪声和通过所述盖的所述声音出口开口发出的声音；以及

所述微机电扬声器系统还包括控制系统，所述控制系统配置成基于由所述麦克风检测到的声音和干扰噪声来控制所述微机电声音产生装置的声音产生，从而抑制所检测到的干扰噪声。

4.根据权利要求3所述的微机电扬声器系统，其中，所述控制系统配置成使用驱动所述致动器的激励信号来控制所述微机电声音产生装置的声音产生，并且从所述麦克风接收反馈信号，其中，所述反馈信号表示所述干扰噪声和通过所述盖的所述声音出口开口发出的声音。

5.根据权利要求1所述的微机电扬声器系统，其中，在所述麦克风和相邻的至少一个声音出口开口之间的声路小于或等于2mm；

其中，所述微机电扬声器系统实施主动噪声消除功能，

其中，所述麦克风配置成检测干扰噪声和通过所述盖的所述声音出口开口发出的声音；以及

所述微机电扬声器系统还包括控制系统，所述控制系统配置成基于由所述麦克风检测到的声音和干扰噪声来控制所述微机电声音产生装置的声音产生，从而抑制所检测到的干扰噪声。

6.根据权利要求4所述的微机电扬声器系统，其中，所述麦克风在所述盖上的位置被选择使得所述激励信号和所述反馈信号之间的相位差小于或等于2°，以实现至少1kHz的截止频率。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的微机电扬声器系统，其中，所述微机电声音产生装置是多层硅器件。

8.根据权利要求7所述的微机电扬声器系统，其中，所述麦克风形成在半导体器件的一个或多个半导体层中，所述麦克风在所述盖的背对着所述致动器的一侧上。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的微机电扬声器系统，其中，所述微机电声音产生装置是多层硅器件，并且其中，所述盖、所述基座和所述致动器形成在所述多层硅器件的不同层中。

10.根据权利要求1所述的微机电扬声器系统，其中，所述麦克风是安装在所述微机电声音产生装置的所述盖上的基于离散微机电系统的组件。

11.根据权利要求3所述的微机电扬声器系统，其中，所述麦克风以导电方式连接到所述微机电声音产生装置的所述盖，以经由所述微机电声音产生装置的导电路径向所述控制系统提供反馈信号，其中，所述反馈信号表示所述干扰噪声和通过所述盖的所述声音出口开口发出的声音。

12.根据权利要求3至5中任一项所述的微机电扬声器系统，其中，所述控制系统布置在所述微机电声音产生装置的所述基座和/或所述盖上，并且以导电的方式连接到所述微机电声音产生装置。