[发明专利]一种适用于IC载板闪蚀方法的除油剂及其应用

权利要求书

1.一种适用于IC载板闪蚀方法的除油剂，其特征在于，包括以下质量浓度组分：

过硫酸钠                             1.5-4.5g/L，

硫酸                                 3-8g/L，

表面活性剂                           2.5%-25%，

铜面渗透剂                           0.2-0.8%，

抑泡剂                               0.5-1.5%，

余量为去离子水；

所述的表面活性剂与铜面渗透剂的质量比为1：（0.02-0.3）；

所述的表面活性剂由阴离子表面活性剂1-10%、非离子表面活性剂0.5-5%和两性表面活性剂1-10%组成；所述的铜面渗透剂选自异构十醇、胰加漂T、十四烷酸异丙酯、琥珀酸烷基酯磺酸钠中的至少一种；所述的抑泡剂选自聚乙二醇单硬脂酸酯、甘油单硬脂酸酯、失水山梨醇酯中的至少一种；

所述的阴离子表面活性剂选自N,N-油酰双牛磺酸钠、月桂基硫酸钠、十二醇聚氧乙烯醚硫酸钠中的至少一种；所述的非离子表面活性剂选自聚氧乙烯月桂酸酯、聚乙二醇脂肪酸酯、石油磺酸苯酯中的至少一种；所述的两性表面活性剂选自2-月桂基-N-羧甲基-N-羟乙基咪唑啉、2-烷基-N-羟乙基-N-羟丙基磺基咪唑啉、N-月桂酰肌氨酸钠中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的适用于IC载板闪蚀方法的除油剂，其特征在于，所述的阴离子表面活性剂、非离子表面活性剂和两性表面活性剂质量比为1：（0.1-2.5）：（0.2-10）。

3.根据权利要求2所述的适用于IC载板闪蚀方法的除油剂，其特征在于，所述的阴离子表面活性剂的质量浓度为4-6%，所述的非离子表面活性剂的质量浓度为2-3%，所述的两性表面活性剂的质量浓度为4-6%。

4.根据权利要求3所述的适用于IC载板闪蚀方法的除油剂，其特征在于，所述的铜面渗透剂的质量浓度为0.4-0.6%。

5.根据权利要求4所述的适用于IC载板闪蚀方法的除油剂，其特征在于，所述的过硫酸钠的质量浓度为2-4g/L，所述的硫酸的质量浓度为4-6g/L。

6.根据权利要求5所述的适用于IC载板闪蚀方法的除油剂，其特征在于，所述的抑泡剂的质量浓度为0.8-1.2%。

7.一种适用于IC载板闪蚀方法的除油剂的除油方法，其特征在于，将权利要求1-6任意一项所述的适用于IC载板闪蚀方法的除油剂制备成质量浓度为3-5%的溶液，采用浸泡或喷淋方式在溶液温度为20-40℃，自动添加量为0.8-1.2L/100平米的条件下对IC载板进行除油，除油时间为0.5-5min。

8.如权利要求7所述的除油方法，其特征在于，所述的喷淋方式的喷淋压力为1.5-2.5kg/cm²，所述的溶液温度为25-35℃。

9.如权利要求8所述的除油方法，其特征在于，所述的IC载板的线宽/线距为10μm/10μm-50μm/50μm。