[发明专利]一种高加热效率热阴极及其制备方法

权利要求书

1.一种高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)零件预处理

检验零件是否合格后，对合格的零件进行清洗，其中零件为阴极环和灯丝筒；

(2)基体处理

将基体依次进行化学去铜和真空去铜；

(3)钎焊组件制备

将阴极环与灯丝筒经过净化处理后，通过钼钌高温焊料钎焊在一起，形成环筒组件；再将环筒组件底部以及内壁涂覆氧化铝浆料，即可制得钎焊组件；

(4)热子组件制备

将热丝依次经过热丝绕制、热丝电泳、热丝填充、压制和高温烧结后，制得热子组件；

其中热丝填充包括：将经过绝缘涂覆的内外层热丝置于钎焊组件内，滴入氧化铝浆料进行填充，使热丝螺旋部分无裸露；

(5)高加热效率热阴极制备

将热子组件依次经过浸盐、打盐和抛光后，制得高加热效率热阴极。

2.如权利要求1所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述热丝绕制包括：将钨铼丝呈螺旋状绕制，制备成具有内层和外层的双层结构的G30内外层热丝。

3.如权利要求1所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述热丝电泳包括：将绕制后的热丝进行外部电泳，使热丝外部包括致密绝缘层。

4.如权利要求1所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中压制过程具体包括：将热丝填充后的组件装入压制模具中，于50-60kg的力压精密手动压力机的压杆中保持3-6s，使下压量达到0.3-0.5mm，即可。

5.如权利要求1所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述阴极环由钨铜棒制备。

6.如权利要求1所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述高温烧结的温度为1700-1800℃，高温烧结的时间为18-22min。

7.如权利要求6所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述高温烧结后，还需要进行修补过程，所述修补过程包括修补填充料裂纹以及修补绝缘填充层与热丝筒接触处的缝隙。

8.如权利要求1所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)具体包括以下过程：将热子组件于高温环境下浸入钪酸盐，浸渍完成后将热子组件表面附着的盐打掉后，对热子组件发射面进行抛光。

9.如权利要求8所述的高加热效率热阴极的制备方法，其特征在于，所述高温环境的温度为1600-1700℃。

10.采用权利要求1-9任一项所述的高加热效率热阴极的制备方法制备得到的高加热效率热阴极。