[发明专利]一种基于协同机制构筑的复合缓蚀剂的制备方法

权利要求书

1.一种基于协同机制构筑的复合缓蚀剂的制备方法，该方法包括如下步骤：

步骤 1：聚丙烯酸铁溶液的制备；将 4.5-6 g 聚丙烯酸钠和 0.15-0.3 g 九水硝酸铁分别溶于15 mL 去离子水中，接着将两溶液充分混合并搅拌均匀；

步骤 2：半胱氨酸溶液的制备；在惰性气体保护下将 0.3-0.45 g 半胱氨酸溶于 30mL 去离子水中；

步骤 3：复合缓蚀剂的制备；将上述制备的 30 mL 聚丙烯酸铁溶液和 30 mL 半胱氨酸溶液充分混合并持续搅拌至溶液呈无色透明状态。

2.如权利要求 1 所述的一种基于协同机制构筑的复合缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤 1：将 4.5 g 聚丙烯酸钠和 0.2 g 九水硝酸铁分别溶于 15 mL 去离子水中；步骤 2：在惰性气体保护下将 0.3 g 半胱氨酸溶于 30 mL 去离子水中。

3.如权利要求 1 所述的一种基于协同机制构筑的复合缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤 1：将 5 g 聚丙烯酸钠和 0.25 g 九水硝酸铁分别溶于 15 mL 去离子水中；步骤2：在惰性气体保护下将 0.35 g 半胱氨酸溶于 30 mL 去离子水中。

4.如权利要求 1 所述的一种基于协同机制构筑的复合缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤 1：将 5.5 g 聚丙烯酸钠和 0.15 g 九水硝酸铁分别溶于 15 mL 去离子水中；步骤 2：在惰性气体保护下将 0.4 g 半胱氨酸溶于 30 mL 去离子水中。

5.如权利要求 1 所述的一种基于协同机制构筑的复合缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤 1：将 6 g 聚丙烯酸钠和 0.3 g 九水硝酸铁分别溶于 15 mL 去离子水中；步骤2：在惰性气体保护下将 0.45 g 半胱氨酸溶于 30 mL 去离子水中。

6.如权利要求 1 所述的一种基于协同机制构筑的复合缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤 1：将 5 g 聚丙烯酸钠和 0.22 g 九水硝酸铁分别溶于 15 mL 去离子水中；步骤2：在惰性气体保护下将 0.3 g 半胱氨酸溶于 30 mL 去离子水中。