[发明专利]一种太赫兹行波管高精度对准工装及对准装配方法

权利要求书

1.一种太赫兹行波管高精度对准工装，其特征在于：包括电子枪工装及慢波结构工装；所述电子枪工装、慢波结构工装均包括调平工装，多轴精密位移平台，底座，组合成直角形状的两个等高块，基座；所述底座的同一水平面上布置多轴精密位移平台及组合成直角形状的两个等高块；位于多轴精密位移平台的上端部设有调平工装；所述调平工装内布置电子枪或慢波结构；

所述电子枪工装与慢波结构工装中电子枪与慢波结构相对布置且置于基座上。

2.根据权利要求1所述的太赫兹行波管高精度对准工装，其特征在于：所述调平工装上用于调节电子枪阴极面水平角度；所述调平工装包括电子枪装配底座、电子枪装配开缝套筒、电子枪装配调节座、调节螺钉；所述电子枪装配底座内设有腔体，腔体内设有同心布置的电子枪装配调节座；所述电子枪装配调节座内设有用于安装电子枪的电子枪装配开缝套筒；所述电子枪装配调节座内设有纵向及横向布置的调节螺钉。

3.根据权利要求2所述的太赫兹行波管高精度对准工装，其特征在于：所述电子枪装配底座还设有横向布置的调节螺钉，该调节螺钉用于调节电子枪装配调节座。

4.利用权利要求1至3任意一项所述的太赫兹行波管高精度对准工装的装配方法，其特征在于：对准装配步骤如下：

步骤一、准备用于安装电子枪工装、慢波结构的底座；分别在底座上安装固定两个等高块及多轴精密位移平台；

步骤二、分别在多轴精密位移平台上安装调平工装，调平工装内安装电子枪及慢波结构；

步骤三、通过调平工装将电子枪的阴极上表面调水平，水平面精度控制在2微米内；

步骤四、电子枪工装中以相互垂直的两个等高块作为X、Y轴坐标系；采用激光测量仪校准电子枪的阴极在该X、Y轴坐标系中的位置；

步骤五、通过调平工装将慢波结构电子注通道垂直定位面调水平，将电子注通道孔的两个垂直侧面分别平行于定两个等高块的垂面；

步骤六、慢波结构工装中以相互垂直的两个等高块作为X、Y轴坐标系，采用激光测量仪校准慢波结构中电子柱通道的孔在该X、Y轴坐标系中的位置；

步骤七、将步骤四及步骤六中电子枪的阴极及慢波结构的电子注通道的中心坐标保持一致；

步骤八、将步骤八中电子枪及慢波结构翻转90°，且布置在基座上；在基座上滑动贴合实现太赫兹行波管带状电子注电子枪中阴极与慢波对准的装配。

5.根据权利要求4所述的太赫兹行波管高精度对准工装的装配方法，其特征在于：步骤一中两个等高块的高度差在±0.5mm内；两个等高块相互垂直且之间的夹角为90°±5′。