[发明专利]一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置

权利要求书

1.一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：包括滑动靶件(1)、2个固定模块(2)、弹簧(3)、陶瓷杆(4)、陶瓷片(5)、电涡流位移传感器(6)、限位螺钉(7)和传感器安装杆(8)；2个固定模块(2)均竖直放置；陶瓷杆(4)设置在2个固定模块(2)之间，通过陶瓷杆(4)实现对2个固定模块(2)相对位置的固定；滑动靶件(1)为水平放置的T字形结构；滑动靶件(1)穿过其中1个固定模块(2)；弹簧(3)套装在滑动靶件(1)的外壁，且弹簧(3)的轴向一端与滑动靶件(1)穿过的固定模块(2)内壁接触，弹簧(3)的轴向另一端与T字形滑动靶件(1)的侧壁接触；传感器安装杆(8)为水平放置的杆状结构；传感器安装杆(8)穿过另1个固定模块(2)；传感器安装杆(8)与穿过的固定模块(2)通过限位螺钉(7)固连；滑动靶件(1)与传感器安装杆(8)同轴相对设置；陶瓷片(5)设置在滑动靶件(1)和传感器安装杆(8)之间，在弹簧(3)弹力的作用下实现对陶瓷片(5)的夹紧；电涡流位移传感器(6)固定安装在传感器安装杆(8)上。

2.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：标定装置的工作环境为液氢或液氧中，温度为-269℃；陶瓷杆(4)在液氢、液氧浸泡环境下性能稳定，不发生形变影响标定精度；同时，不对电涡流位移传感器(6)测量造成干扰。

3.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述固定模块(2)采用GH4169高温合金材料。

4.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述弹簧(3)采用线径为1.2mm，外径为13mm，长度为30mm的304钢材料压缩弹簧。

5.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：陶瓷杆(4)和2个固定模块(2)通过螺钉固连，并通过DW-3低温胶粘接。

6.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述滑动靶件(1)轴向伸出对应固定模块(2)的一端与外部氢涡轮泵转子或氧涡轮泵转子连接，滑动靶件(1)的材料与外部氢涡轮泵转子或氧涡轮泵转子的材料一致。

7.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述滑动靶件(1)实现沿轴向相对于对应固定模块(2)的移动。

8.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：标定装置的标定过程为：

已知陶瓷片(5)的厚度为L；沿轴向向外侧移动滑动靶件(1)，压缩弹簧(3)，将陶瓷片(5)取下；松开滑动靶件(1)，在弹簧(3)的复位力的作用下，滑动靶件(1)与传感器安装杆(8)接触；此时用电涡流位移传感器(6)测量滑动靶件(1)轴向端面与电涡流位移传感器(6)的距离A；沿轴向向外侧移动滑动靶件(1)，将陶瓷片(5)放置在滑动靶件(1)与传感器安装杆(8)之间，松开滑动靶件(1)，在弹簧(3)的复位力的作用下，滑动靶件(1)和传感器安装杆(8)实现对；陶瓷片(5)的夹紧，此时用电涡流位移传感器(6)测量陶瓷片(5)与电涡流位移传感器(6)的距离B，计算B-A的结果，并与L进行对比，实现对电涡流位移传感器(6)的标定。

9.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：陶瓷片(5)的厚度L为0-2mm；通过选取不同厚度的陶瓷片(5)作为被测距离实现对电涡流位移传感器(6)进行标定。

10.根据权利要求1所述的一种液氢、液氧环境下的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述陶瓷片(5)采用95氧化铝陶瓷片。