[发明专利]一种高速顶针结构

说明书

本发明公开了一种高速顶针结构，包括XY精密滑台、音圈电机固定底板、L型固定架、音圈电机、拉簧座和读数头；所述XY精密滑台与音圈电机固定底板锁附构成底座，音圈电机、拉簧座、L型固定架锁附于音圈电机固定板上构成固定部分，附音圈电机上方锁附有音圈电机上锁附板，且音圈电机上锁附板背部锁附直线导轨；所述音圈电机上锁附板右侧锁附读数头，左侧锁附拉簧，并与固定部分形成指定Z向上下移动的运动副；滑动座下锁附音圈电机，滑动座背部锁附直线导轨，滑动座右侧锁附读数头，滑动座左侧锁附拉簧，并与下固定部形成指定Z向上下移动的运动副。本发明具有快速且高精度上下往复运动的功能。

技术领域

本发明涉及一种顶针结构，具体涉及一种高速顶针结构。

背景技术

现有背景技术在制程中，常规方法采用气缸伸缩往复运动、电气初阶采用凸轮结构加马达实现上下往复运动、高阶可采用快速响应的直线电机驱动单元来实现、现代阶段可采用音圈电机为驱动单元实现高速高精度上下往复运动；在半导体行业芯片数量庞大且微小，传统的机械电气结合方案效率低且精度不可控

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种高速顶针结构，以解决在巨量转移过程中，效率低且精度低的问题，具有快速且高精度上下往复运动功能。

本发明高速顶针结构是通过以下技术方案来实现的：包括XY精密滑台、音圈电机固定底板、L型固定架、音圈电机、拉簧座和读数头；

所述XY精密滑台与音圈电机固定底板锁附构成底座，音圈电机、拉簧座、L型固定架锁附于音圈电机固定板上构成固定部分，附音圈电机上方锁附有音圈电机上锁附板，且音圈电机上锁附板背部锁附直线导轨；所述音圈电机上锁附板右侧锁附读数头，左侧锁附拉簧，并与固定部分形成指定Z向上下移动的运动副；滑动座下锁附音圈电机，滑动座背部锁附直线导轨，滑动座右侧锁附读数头，滑动座左侧锁附拉簧，并与下固定部形成指定Z向上下移动的运动副。

作为优选的技术方案，L型固定架上锁附有导向座，导向座下端嵌入轴套固定环构成刺针部分导向及真空吸附部分；滚柱轴承嵌入轴套固定环和下封板，并通过密封圈锁附在轴套固定环下部。

作为优选的技术方案，导向座内嵌入上密封圈，并与顶帽锁附在L型固定架上，形成上密封腔体。

作为优选的技术方案，滑动座内插入有导向轴，并通过螺丝抱紧锁附；导向轴中镶嵌有锥帽，锥帽中插入有刺针，锥帽与压帽螺牙拧紧起到刺针抱紧作用；导向轴与滚柱轴承构成上下运动导向作用，带动刺针上下运动；上密封圈、下密封圈与顶帽构成真空腔体。

本发明的有益效果是：本发明实现在巨量转移过程中，进行快速且高精度上下往复运动功能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明的剖视结构示意图。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

如图1—图2所示，本发明的一种高速顶针结构，包括XY精密滑台1、音圈电机固定底板2、L型固定架3、音圈电机36、拉簧座12和读数头27；