[发明专利]晶圆切割机切割刀座在审
申请号: | 202210841100.1 | 申请日: | 2022-07-18 |
公开(公告)号: | CN115091633A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 魏余红;谭将强 | 申请(专利权)人: | 东莞科卓机器人有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/02 |
代理公司: | 深圳华奇信诺专利代理事务所(特殊普通合伙) 44328 | 代理人: | 陈子勋 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割机 切割 | ||
本发明涉及晶圆切割机技术领域,特指一种晶圆切割机切割刀座;本发明包括刀座,刀座的一端安装有切刀,刀座的上端固定有固定座,固定座的一侧连接有第一刀套,刀座的上端安装有刀套气缸,刀套气缸驱动固定座,第一刀套位于切刀的一侧;本发明通过刀套气缸驱动固定座,进而驱动第一刀套远离切刀,从而留出空间进行切刀更换,非常方便,切刀更换效率大大提高。
技术领域
本发明涉及晶圆切割机技术领域,特指一种晶圆切割机切割刀座。
背景技术
现有的晶圆切割机,它具有切割刀座,切割刀座用于安装切刀,不过,现有的切割刀座与切刀安装好之后,切刀如果出现问题,无法及时了解到相应的情况,从而可能造成批量不良品。同时,切刀更换比较麻烦。
因此,基于上述现有的晶圆切割机切割刀座的缺陷,需要对现有的晶圆切割机切割刀座进行改进。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种晶圆切割机切割刀座,该晶圆切割机切割刀座解决了现有的切割刀座所存在的:切刀更换麻烦等缺陷。
为实现上述目的,本发明是通过以下技术方案实现的:晶圆切割机切割刀座,包括刀座,刀座的一端安装有切刀,刀座的上端固定有固定座,固定座的一侧连接有第一刀套,刀座的上端安装有刀套气缸,刀套气缸驱动固定座,第一刀套位于切刀的一侧。
进一步的,所述的刀座的另一侧安装有第二刀套,第一刀套、第二刀套分别位于切刀的两侧。
进一步的,所述的第一刀套下端具有冷却管,冷却管有两条,分别位于切刀的正面和反面的下部。
进一步的,所述的冷却管朝向切刀的一侧开设有冷却液喷孔。
进一步的,所述的第二刀套固定有喷头,喷头的下端配设有导向块,导向块具有曲面。
进一步的,所述的第一刀套安装有切刀感应器固定座,切刀感应器固定座安装有切刀感应器,切刀感应器延伸到切刀的端面。
本发明的有益效果在于:通过刀套气缸驱动固定座,进而驱动第一刀套远离切刀,从而留出空间进行切刀更换,非常方便,切刀更换效率大大提高。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的另一角度结构示意图。
图3为本发明应用的晶圆切割机结构示意图。
标号及说明:
进料区1、上料区2、控制区3、电气区4、刀座5、切刀6、第一刀套7、第二刀套8、喷头9、导向块10、曲面11、冷却管12、固定座13、刀套气缸14、切刀感应器固定座15。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
见图3,本发明应用的晶圆切割机,切割机主体呈方形,它的前端一侧形成进料区1、另一侧形成上料区2,上料区2具有移动门,主体的后端具有检修门,可以进行切刀更换,主体的左侧具有控制区3,用于切割机的操作控制,主体的右侧后端具有电气区4,切割机的主要电气装置都安装在电气区4,便于统一管理,非常方便。
见图1、图2,本发明晶圆切割机切割刀座包括刀座5,刀座5的一端安装有切刀6,刀座5的上端固定有固定座13,固定座13的一侧连接有第一刀套7,刀座5的上端安装有刀套气缸14,刀套气缸14驱动固定座13,刀座5的另一侧安装有第二刀套8,第一刀套7、第二刀套8分别位于切刀6的两侧。
本发明的刀套气缸14驱动第一刀套7平行切刀移动,从而留出空间用于更换切刀,非常方便、快捷。
本发明的第一刀套7下端具有冷却管12,冷却管12有两条,分别位于切刀6的正面和反面的下部,冷却管12朝向切刀6的一侧开设有冷却液喷孔。
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