[发明专利]探针清洁装置及探针清洁方法

权利要求书

1.一种探针清洁装置，经配置以非接触方式清洁探针卡上的复数探针，其特征在于：所述探针清洁装置包含：

涡电流产生模块，包含：

磁场产生单元；以及

金属板，与所述磁场产生单元相邻配置，其中，所述磁场产生单元经配置以产生交变磁场，当所述探针进入所述交变磁场的范围内时，所述金属板上会形成涡电流，使得各所述探针上的待清除物形成第一感应极性；以及

反相磁铁，经配置以将产生所述第一感应极性的所述待清除物自各所述探针吸离，其中所述反相磁铁具有第二感应极性，与所述待清除物所产生的所述第一感应极性相反；

其中构成所述待清除物的金属的导电率大于构成所述探针之金属的导电率。

2.如权利要求1所述的探针清洁装置，其特征在于：其中所述磁场产生单元包含：

感应线圏；

交流电流源，经配置以对所述感应线圏供应交流电流；以及

磁石转筒，经配置由所述感应线圏环绕并于所述感应线圏内转动；

其中，所述感应线圏因流通所述交流电流而产生所述交变磁场，并在所述探针进入所述交变磁场的范围内时，致使所述金属板上形成所述涡电流。

3.如权利要求1所述的探针清洁装置，其特征在于：其中所述探针卡配置于数组测试机台、晶圆级测试中的芯片针测机台、封装后测试中的最后测试机台、液晶单元测试机台或电流-电压针测机台内。

4.如权利要求3所述的探针清洁装置，其特征在于：其中所述探针卡经配置以对一待测组件执行电性测试，而所述待测组件为半导体组件或晶圆。

5.如权利要求1的探针清洁装置，其特征在于：更包括变频器和磁石转筒，其中所述磁石转筒为永久磁石，且能由所述变频器改变其转动频率，以产生不同效力的所述涡电流。

6.一种探针清洁装置，其特征在于：经配置以非接触方式清洁探针卡上的复数探针，所述探针清洁装置包含：

涡电流产生模块，具有磁场产生单元，其中所述磁场产生单元经配置以产生交变磁场，当所述探针卡进入所述交变磁场的范围内时，各所述探针上的待清除物会形成涡电流，再利用反向的磁场变化使得各所述探针上的所述待清除物脱离各所述探针，其中所述磁场产生单元包含：感应线圏；交流电流源，经配置以对所述感应线圏供应交流电流；以及磁石转筒，经配置由所述感应线圏环绕并于所述感应线圏内转动；其中，所述感应线圏因流通所述交流电流而产生所述交变磁场；以及

干燥装置，电性连接所述探针卡，通过加热方式使所述探针干燥。

7.一种探针清洁装置，其特征在于：经配置以非接触方式清洁探针卡上的复数探针，所述探针清洁装置包含：

涡电流产生模块，具有磁场产生单元，其中所述磁场产生单元经配置以产生交变磁场，当所述探针卡进入所述交变磁场的范围内时，各所述探针上的待清除物会形成涡电流，使得各所述探针上的所述待清除物形成第一感应极性，其中所述磁场产生单元包含：感应线圏；交流电流源，经配置以对所述感应线圏供应交流电流；以及磁石转筒，经配置由所述感应线圏环绕并于所述感应线圏内转动；其中，所述感应线圏因流通所述交流电流而产生所述交变磁场；

反相磁铁，具有第二感应极性，其中所述第二感应极性与所述待清除物所产生的所述第一感应极性相反，而所述反相磁铁与所述磁场产生单元配置于所述探针卡的相反侧，用以将产生所述第一感应极性的所述待清除物自各所述探针吸离；以及

干燥装置，电性连接所述探针卡，通过加热方式使所述探针干燥。