[发明专利]一种麦克风组件及电子设备

说明书

本发明提供了一种麦克风组件及电子设备，所述麦克风组件沿层叠方向包括基底、第一振膜、背极板、以及第二振膜，所述背极板和所述第一振膜之间具有部分区域贯通的第一绝缘体，所述第二振膜与所述背极板之间具有部分区域贯通的第二绝缘体；其中，所述第一绝缘体具有设置在所述第一电极边缘的第一环形结构，所述第二绝缘体具有设置在所述第三电极边缘的第二环形结构，所述第一电极背极板之间由所述第一环形结构连接以形成第一空腔，所述背极板与所述第三电极之间由所述第二环形结构连接以形成第二空腔，形成的第一空腔和形成的第二空腔构成真空密闭空腔。本发明所提供的技术方案显著提升了麦克风的防尘效果和信噪比。

技术领域

本发明涉及麦克风技术领域，更为具体的说涉及一种麦克风组件及电子设备。

背景技术

麦克风是一种将声压信号最终转换为电信号的压力传感器，使用微机电工艺技术制造的小型麦克风称为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）麦克风或微麦克风。MEMS麦克风芯片一般包括衬底、振膜以及背极板。其中的振膜、背极板是MEMS麦克风芯片中的重要部件，振膜、背极板平行且间隔设置，两者构成平板电容的两个电极板，振膜用于在声波的作用下振动，导致背极板和振膜之间的相对距离发生变化，从而使得平板电容的电容值发生变化，电容值的变化经外围电路转化成电信号，实现声电的转换。

现有的MEMS麦克风大多数是由一个感应振膜以及一个刚性背极板组成，这种麦克风的线性度较低，谐波失真较大。随着MEMS麦克风应用场景的扩展（例如利用手机唱歌的应用场景等），用户对MEMS麦克风的语音质量的要求越来越高。因此，需要对现有技术进行改进。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种麦克风组件及电子设备。

本发明的目的采用以下技术方案实现：

根据本发明的一方面，提供一种麦克风组件，包括：以层叠的方式依序设置的基底、第一振膜、背极板以及第二振膜，所述背极板和所述第一振膜之间具有部分区域贯通的第一绝缘体，所述第二振膜与所述背极板之间具有部分区域贯通的第二绝缘体；所述基底具有在其厚度方向上贯通的背腔，所述第一振膜的部分区域构成第一电极，所述背极板的部分区域构成第二电极，所述第二振膜的部分区域构成第三电极，其中，在所述基底的厚度方向上，所述背腔、所述第一电极、所述第二电极、以及所述第三电极四者的投影交叠；其中，所述第一绝缘体具有设置在所述第一电极边缘的第一环形结构，所述第二绝缘体具有设置在所述第三电极边缘的第二环形结构，所述第一电极背极板之间由所述第一环形结构连接以形成第一空腔，所述背极板与所述第三电极之间由所述第二环形结构连接以形成第二空腔。

可选地，所述第一振膜具有至少一个第一镂空区域，所述至少一个第一镂空区域环绕所述第一电极；所述背极板具有至少一个第二镂空区域，所述至少一个第二镂空区域环绕所述第二电极；所述第二振膜具有至少一个第三镂空区域，所述至少一个第三镂空区域环绕所述第三电极。

可选地，形成所述第一空腔的所述第一环形结构位于所述第一电极的边缘，使得所述第二电极的中部区域悬空于所述第一电极的上方，所述第一电极与所述第二电极形成第一可变电容；形成所述第二空腔的所述第二环形结构位于所述第二电极的边缘，使得所述第三电极的中部区域悬空于所述第二电极的上方，所述第三电极与所述第二电极形成第二可变电容。

可选地，所述背极板的所述第二电极上设置有在厚度方向上贯穿所述背极板的至少一个背极板通孔，所述第一振膜和所述第二振膜之间设置有至少一个第二支撑结构，所述第二支撑结构穿设于所述至少一个背极板通孔之中，所述第一振膜和所述第二振膜通过所述第二支撑结构相联接。

可选地，所述第一振膜与设置在所述背腔中并固定在所述基底上的第一支撑结构接触。