[发明专利]一种麦克风组件及电子设备有效

专利信息
申请号: 202210808627.4 申请日: 2022-07-11
公开(公告)号: CN114885264B 公开(公告)日: 2022-11-18
发明(设计)人: 曹斌斌;荣根兰 申请(专利权)人: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04;H04R19/00;H04R1/08;H04R1/12
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 方世栋
地址: 215123 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 麦克风 组件 电子设备
【权利要求书】:

1.一种麦克风组件,其特征在于,包括以层叠的方式依序设置的基底(100)、第一振膜(200)、背极板(300)、以及第二振膜(400),所述背极板(300)和所述第一振膜(200)之间具有部分区域贯通的第一绝缘体(120),所述第二振膜(400)与所述背极板(300)之间具有部分区域贯通的第二绝缘体(130);

所述基底(100)具有在其厚度方向上贯通的背腔(101),所述第一振膜(200)的部分区域构成第一电极(210),所述背极板(300)的部分区域构成第二电极(310),所述第二振膜(400)的部分区域构成第三电极(410),其中,在所述基底(100)的厚度方向上,所述背腔(101)、所述第一电极(210)、所述第二电极(310)、以及所述第三电极(410)四者的投影交叠;

其中,所述第一绝缘体(120)具有设置在所述第一电极(210)边缘的第一环形结构(121),所述第二绝缘体(130)具有设置在所述第三电极(410)边缘的第二环形结构(131),所述第一电极(210)与背极板(300)之间由所述第一环形结构(121)连接以形成第一空腔(501),所述背极板(300)与所述第三电极(410)之间由所述第二环形结构(131)连接以形成第二空腔(502)。

2.如权利要求1所述的麦克风组件,其特征在于,

所述第一振膜(200)具有至少一个第一镂空区域(201),所述至少一个第一镂空区域(201)环绕所述第一电极(210);

所述背极板(300)具有至少一个第二镂空区域(301),所述至少一个第二镂空区域(301)环绕所述第二电极(310);

所述第二振膜(400)具有至少一个第三镂空区域(401),所述至少一个第三镂空区域(401)环绕所述第三电极(410)。

3.如权利要求2所述的麦克风组件,其特征在于,

形成所述第一空腔(501)的所述第一环形结构(121)位于所述第一电极(210)的边缘,使得所述第二电极(310)的中部区域悬空于所述第一电极(210)的上方,所述第一电极(210)与所述第二电极(310)形成第一可变电容;

形成所述第二空腔(502)的所述第二环形结构(131)位于所述第二电极(310)的边缘,使得所述第三电极(410)的中部区域悬空于所述第二电极(310)的上方,所述第三电极(410)与所述第二电极(310)形成第二可变电容。

4.如权利要求3所述的麦克风组件,其特征在于,

所述背极板(300)的所述第二电极(310)上设置有在厚度方向上贯穿所述背极板(300)的至少一个背极板通孔(312),所述第一振膜(200)和所述第二振膜(400)之间设置有至少一个第二支撑结构(600),所述第二支撑结构(600)穿设于所述至少一个背极板通孔(312)之中,所述第一振膜(200)和所述第二振膜(400)通过所述第二支撑结构(600)相联接。

5.如权利要求4所述的麦克风组件,其特征在于,所述第一振膜(200)与设置在所述背腔(101)中并固定在所述基底(100)上的第一支撑结构(180)接触。

6.如权利要求5所述的麦克风组件,其特征在于,所述第一支撑结构(180)包括主体部(181)和支撑部(182),所述主体部(181)位于所述背腔(101)中,并通过所述支撑部(182)与所述背腔(101)的侧壁(102)固定连接;

其中,所述主体部(181)靠近所述第一振膜(200)的一侧表面上设置有凸起部(183),所述凸起部(183)与所述第一振膜(200)接触,以支撑所述第一电极(210)。

7.如权利要求6所述的麦克风组件,其特征在于,

所述主体部(181)位于所述背腔(101)的中部;

所述支撑部(182)包括至少一根横梁(1821),所述主体部(181)通过所述至少一根横梁(1821)与所述背腔(101)的侧壁(102)固定连接。

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