[发明专利]一种麦克风组件及电子设备有效
| 申请号: | 202210808627.4 | 申请日: | 2022-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN114885264B | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
| 发明(设计)人: | 曹斌斌;荣根兰 | 申请(专利权)人: | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R19/00;H04R1/08;H04R1/12 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 方世栋 |
| 地址: | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 麦克风 组件 电子设备 | ||
1.一种麦克风组件,其特征在于,包括以层叠的方式依序设置的基底(100)、第一振膜(200)、背极板(300)、以及第二振膜(400),所述背极板(300)和所述第一振膜(200)之间具有部分区域贯通的第一绝缘体(120),所述第二振膜(400)与所述背极板(300)之间具有部分区域贯通的第二绝缘体(130);
所述基底(100)具有在其厚度方向上贯通的背腔(101),所述第一振膜(200)的部分区域构成第一电极(210),所述背极板(300)的部分区域构成第二电极(310),所述第二振膜(400)的部分区域构成第三电极(410),其中,在所述基底(100)的厚度方向上,所述背腔(101)、所述第一电极(210)、所述第二电极(310)、以及所述第三电极(410)四者的投影交叠;
其中,所述第一绝缘体(120)具有设置在所述第一电极(210)边缘的第一环形结构(121),所述第二绝缘体(130)具有设置在所述第三电极(410)边缘的第二环形结构(131),所述第一电极(210)与背极板(300)之间由所述第一环形结构(121)连接以形成第一空腔(501),所述背极板(300)与所述第三电极(410)之间由所述第二环形结构(131)连接以形成第二空腔(502)。
2.如权利要求1所述的麦克风组件,其特征在于,
所述第一振膜(200)具有至少一个第一镂空区域(201),所述至少一个第一镂空区域(201)环绕所述第一电极(210);
所述背极板(300)具有至少一个第二镂空区域(301),所述至少一个第二镂空区域(301)环绕所述第二电极(310);
所述第二振膜(400)具有至少一个第三镂空区域(401),所述至少一个第三镂空区域(401)环绕所述第三电极(410)。
3.如权利要求2所述的麦克风组件,其特征在于,
形成所述第一空腔(501)的所述第一环形结构(121)位于所述第一电极(210)的边缘,使得所述第二电极(310)的中部区域悬空于所述第一电极(210)的上方,所述第一电极(210)与所述第二电极(310)形成第一可变电容;
形成所述第二空腔(502)的所述第二环形结构(131)位于所述第二电极(310)的边缘,使得所述第三电极(410)的中部区域悬空于所述第二电极(310)的上方,所述第三电极(410)与所述第二电极(310)形成第二可变电容。
4.如权利要求3所述的麦克风组件,其特征在于,
所述背极板(300)的所述第二电极(310)上设置有在厚度方向上贯穿所述背极板(300)的至少一个背极板通孔(312),所述第一振膜(200)和所述第二振膜(400)之间设置有至少一个第二支撑结构(600),所述第二支撑结构(600)穿设于所述至少一个背极板通孔(312)之中,所述第一振膜(200)和所述第二振膜(400)通过所述第二支撑结构(600)相联接。
5.如权利要求4所述的麦克风组件,其特征在于,所述第一振膜(200)与设置在所述背腔(101)中并固定在所述基底(100)上的第一支撑结构(180)接触。
6.如权利要求5所述的麦克风组件,其特征在于,所述第一支撑结构(180)包括主体部(181)和支撑部(182),所述主体部(181)位于所述背腔(101)中,并通过所述支撑部(182)与所述背腔(101)的侧壁(102)固定连接;
其中,所述主体部(181)靠近所述第一振膜(200)的一侧表面上设置有凸起部(183),所述凸起部(183)与所述第一振膜(200)接触,以支撑所述第一电极(210)。
7.如权利要求6所述的麦克风组件,其特征在于,
所述主体部(181)位于所述背腔(101)的中部;
所述支撑部(182)包括至少一根横梁(1821),所述主体部(181)通过所述至少一根横梁(1821)与所述背腔(101)的侧壁(102)固定连接。
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