[发明专利]一种细微粉尘的测量装置

权利要求书

1.一种细微粉尘的测量装置，其特征在于，包括真空泵、连接管、吸附头和测量部件；所述连接管的第一端连接所述真空泵，第二端连接所述吸附头，且所述吸附头的吸附面朝向待测量件的预设测量位置的表面；所述连接管的第二端与所述吸附头可拆卸连接；

所述吸附头的内部设置有用于过滤细微粉尘的过滤层，所述真空泵通过所述吸附头对待测量件的预设测量位置表面的细微粉尘进行吸附，细微粉尘进入所述吸附头的内部且部分细微粉尘附着于所述过滤层；

所述测量部件对所述吸附头进行称重。

2.根据权利要求1所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述吸附头的材质为树脂。

3.根据权利要求1所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述过滤层为过滤纸，且过滤纸上过滤孔的孔径为5μ-10μm。

4.根据权利要求1所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述吸附头的吸附面的曲率与待测量件的预设测量位置表面的曲率相同。

5.根据权利要求4所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述吸附头的吸附面为平面。

6.根据权利要求4所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述吸附头的吸附面为曲面。

7.根据权利要求1所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述吸附头包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件与所述连接管连接，所述第二连接件上设置有吸嘴；

所述第一连接件与所述第二连接件可拆卸连接，所述过滤层设置于所述第一连接件与所述第二连接件之间。

8.根据权利要求7所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述过滤层可拆卸地安装于所述第一连接件上，所述第一连接件与所述第二连接件螺纹连接。

9.根据权利要求1所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述吸附头包括上盖和下盖，所述过滤层固定于所述上盖和所述下盖之间，且所述上盖和所述下盖之间通过超声波焊接。

10.根据权利要求1所述的细微粉尘的测量装置，其特征在于，所述测量部件的测量精度为十万分之一克。