[发明专利]一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法

说明书

本发明提供了一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法，属于芯片检测设备技术领域，其中，Bar条起始端定位机构包括：移动机构；推板，移动机构适于驱动推板在载片台所处的平面上方沿第一方向和/或第二方向上进行移动，第一方向和第二方向相互垂直；推板具有推动部及位于推动部两侧的拨动部。本发明提供的Bar条起始端定位机构，Bar条放置在载片台上时，推板进行前后左右移动时，第一方向上推动部推动Bar条移动至吸附孔位置处，第二方向上拨动部左右移动调整Bar条在吸附孔上的位置，最后推动部在推动一次，校正Bar条的角度及位置，完成Bar条的定位操作，此种方式定位精准，无需通过移动载片台对Bar条进行位置调整。

技术领域

本发明涉及芯片检测设备技术领域，具体涉及一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法。

背景技术

芯片生产过程中，裂片机通过解理技术将晶圆裂片为一根根Bar条，Bar条是由多个芯片并排形成的单条，裂片机还需要将Bar条进行裂片，形成一个个的芯片，而在对Bar条进行裂片之前，需要对Bar条进行初步检测，查看各个芯片的初步情况。

在对Bar条进行检测时，需要将Bar条放置在载片台上，现有技术中推板为平直的板，仅可以将Bar条移动至载片台上的吸附孔上，Bar条的两端分别为起始端和末端，若是对Bar条起始端位置有进一步的要求，则只能通过移动载片台改变Bar条的位置，而Bar条在载片台上的位置不便于确定，故在移动载片台时不便于确定其移动距离。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中推板仅能将Bar条移动至载片台上吸附孔位置处，不能调节Bar条在载片台上位置的缺陷，从而提供一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种Bar条起始端定位机构，包括：

移动机构；

推板，安装在所述移动机构上，所述推板与载片台对应设置，所述移动机构适于驱动所述推板在载片台所处的平面上方沿第一方向和/或第二方向上进行移动，所述第一方向和第二方向相互垂直；

所述推板适于与Bar条接触的端部具有推动部及位于推动部两侧的拨动部，所述推动部及两侧的拨动部形成“凵”形凹槽，所述推动部适于推动Bar条沿第一方向进行移动，所述拨动部适于推动Bar条沿第二方向进行移动；

Bar条两端分别为起始端和末端，起始端和末端分别适于与两个所述拨动部接触，以使Bar条在拨动部的作用下沿第二方向进行移动。

可选的，所述拨动部伸出的长度大于或等于Bar条的宽度。

可选的，所述推板上在两个拨动部之间的位置开设有斜面，所述斜面朝向推板的端部倾斜，且所述斜面在推板的端部形成所述推动部。

可选的，所述载片台上开设有若干吸附孔，若干吸附孔呈一字排列，且所述吸附孔的排布方向与所述推板的第一方向互相垂直。

可选的，所述载片台上靠近吸附孔的侧边设有倒角。

可选的，还包括工作台，所述工作台上安装有载片台，所述移动机构包括有第一移动机构和第二移动机构，所述第一移动机构滑动安装在所述第二移动机构上，所述第二移动机构固定安装在所述工作台上；

所述推板安装在所述第一移动机构上。

还提供了Bar条定位方法，采用上述的Bar条起始端定位机构，包括以下步骤：

将Bar条放置在载片台上，推板推动Bar条在载片台上沿第一方向和/或第二方向上进行移动，移动过程中调整Bar条在载片台上的位置至指定位置；其中，第一方向和第二方向相互垂直。

可选的，推板在推动Bar条沿第一方向移动时，Bar条移动至吸附孔位置处；