[发明专利]OPC修正方法在审
| 申请号： | 202210761859.9 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115032859A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 汪悦;张月雨;于世瑞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/36 | 分类号： | G03F1/36;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 黄一磊 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | opc 修正 方法 | ||
1.一种OPC修正方法，其特征在于，包括：
提供版图，所述版图包含切割层图形和被切割层图形，所述被切割层图形由若干个长线条图形和若干个短线条图形组成；
对所述短线条图形的两端均沿着所述短线条的径向延伸，使得所述短线条图形的两端均具有延伸部，所述短线条与所述延伸部的长度之和与所述长线条的长度相等或者所述短线条与所述延伸部的长度之和接近于所述长线条图形的长度；
判断在延伸方向任意相邻的两个所述延伸部的距离是否小于设定值；
如果是，则使用连接线将该相邻的两个所述延伸部连接，以得到短线条处理后的被切割层图形，在所述切割层添加所述延伸部及连接线的切割图形，对添加后的切割层图形以及短线条处理后的被切割层图形均进行OPC修正；以及
如果不是，在所述切割层添加所述延伸部的切割图形，对添加后的切割层图形以及短线条处理后的被切割层图形均进行OPC修正。
2.如权利要求1所述的OPC修正方法，其特征在于，长度大于或等于6倍线宽设计规则的线条为长线条，长度小于6倍设计规则的线条为短线条。
3.如权利要求1所述的OPC修正方法，其特征在于，所述长线条或所述短线条为长条形的形状。
4.如权利要求1所述的OPC修正方法，其特征在于，所述设定值为线端间距设计规则。
5.如权利要求1所述的OPC修正方法，其特征在于，所述延伸部的宽度和所述短线条的宽度相同。
6.如权利要求1所述的OPC修正方法，其特征在于，所述延伸部与所述短线条的端部对齐。
7.如权利要求1所述的OPC修正方法，其特征在于，同一所述短线条两端的延伸部的长度相同或不同。
8.如权利要求1所述的OPC修正方法，其特征在于，对添加后的切割层图形以及所述被切割层图形均进行OPC修正之后，还包括：在被所述切割层图形中将添加后的切割层所对应的图形进行切割。
9.如权利要求8所述的OPC修正方法，其特征在于，所述延伸部的长度小于所述切割层的设计规则的线宽最大值。
10.如权利要求8所述的OPC修正方法，其特征在于，所述连接线和所述延伸部的总长度小于所述切割层的设计规则的线宽最大值。
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