[发明专利]一种红外用薄形硅窗口的加工方法在审

专利信息
申请号: 202210731043.1 申请日: 2022-06-24
公开(公告)号: CN115029786A 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 董汝昆;尹国良;应常宇;王柯;谢启明;朱华德;夏天兵;卿德龙;郑鹏良;陈芝泽;张红梅;白应柳;陶红芳 申请(专利权)人: 云南北方光学科技有限公司
主分类号: C30B33/02 分类号: C30B33/02;B28D5/00;B24B1/00
代理公司: 昆明盛鼎宏图知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53203 代理人: 许竞雄
地址: 650000 云南省昆明市中国(云南)*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 外用 薄形硅 窗口 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种红外用薄形硅窗口的加工方法,其特征在于:包括设置在成型过程中的两次退火,成型完成后对硅窗口进行粗磨和精磨,最后利用由漆片、松香和蜂蜡组成的胶合剂将硅窗口通过点胶法上盘,进行抛光;

一次退火时间为46~50小时;

二次退火匀速加热至550~650℃,且恒温46~50小时,再用与加热速度相同的速率降温至常温。

2.根据权利要求1所述的一种红外用薄形硅窗口的加工方法,其特征在于:在所述二次退火时,升温速率与降温速率均为0.5℃/min,且所述一次退火直接在单晶炉内进行,所述二次退火在空气循环炉中进行。

3.根据权利要求1或2所述的一种红外用薄形硅窗口的加工方法,其特征在于:所述第二次退火为在完成所述一次退火后,切片成型后进行。

4.根据权利要求1所述的一种红外用薄形硅窗口的加工方法,其特征在于:所述漆片、松香和蜂蜡之间的比例为1:10~15:10,并且让三者在70~100℃进行混合,混合完成后,在40~60℃进行保胶72小时。

5.根据权利要求1所述的一种红外用薄形硅窗口的加工方法,其特征在于:所述抛光过程采用古典法抛光。

6.根据权利要求1所述的一种红外用薄形硅窗口的加工方法,其特征在于:所述抛光时,环境温度在21~23℃,湿度为40%~60%,主轴转速为25~28转/分钟,硅窗口加工时的表面温度为35℃~45℃。

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