[发明专利]一种磷化钛薄膜及其原位制备方法在审
| 申请号： | 202210702740.4 | 申请日： | 2022-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN116121830A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 刘宝丹;李晶 | 申请（专利权）人： | 佛山东佛表面科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26;C25D11/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区狮山镇桃园东路99*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 薄膜 及其 原位 制备 方法 | ||
1.一种磷化钛薄膜，其特征在于：晶体对称性为四方晶系，是亚稳相，薄膜形貌为火山多孔状。
2.一种权利要求1所述的一种磷化钛薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
（1）将钛片置于30 %浓度的草酸溶液浸泡清洗10分钟，然后用去离子水冲洗干净；
（2）然后以钛片为阳极，将其置于含有磷酸盐的电解液中进行等离子放电，在钛片表面形成P掺杂的二氧化钛薄膜；
（3）将钛片用去离子水清洗1-2分钟后自然烘干；
（4）将步骤（3）中的烘干钛片放入退火炉中在500-1000 ℃真空退火10-1000分钟，然后空冷至室温。
3.根据权利要求2所述的一种磷化钛薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中采用的方法为等离子体电解氧化技术，电解液的主要成分为Na3PO4•12H2O、NaOH和KF的混合溶液，其中Na3PO4•12H2O重量占比在10-60%之间。
4.根据权利要求2所述的一种磷化钛薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中制备的二氧化钛薄膜原位生长于钛片表面，包含内致密过渡层和外多孔层，拥有优秀的结合力。
5.根据权利要求2所述的一种磷化钛薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中制备的二氧化钛薄膜厚度在2-20微米。
6.权利要求2所述的一种磷化钛薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，磷化过程中的磷源来源于二氧化钛薄膜中掺杂的P元素。
7.根据权利要求2所述的一种磷化钛薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，磷化钛原位生长于钛片表面，薄膜厚度在0.2-10 μm。
8.根据权利要求2所述的一种磷化钛薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，磷化钛为均匀的红棕色晶体薄膜。
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