[发明专利]导电薄膜复合材料

权利要求书

1.一种生物传感器电极，所述生物传感器电极包括复合材料，其中所述复合材料包括：

a.聚合物膜基材；和

b.邻近所述基材设置的导电层；

c.其中所述导电层由氪和导电材料组成,其中所述导电材料包含铝、金、铟、铱、铌、锇、铂、铼、铑、硒、银、钽、锡、钨、锆、其混合物、这些元素中任一种的氧化物、或这些元素中任一种的金属化合物；

d.其中所述导电层具有不大于150纳米的厚度；

e.其中所述导电层具有不大于87微米的耐刮伤性，

f.其中所述复合材料具有不大于97.077t^-0.071ohms.nm的电阻率，其中t代表以纳米计的所述导电层的厚度，以及

g.其中，如根据SIMS测量的，氪在5纳米的深度处以至少1x10¹⁰个原子/cm³的量存在于所述导电层中，并且如根据SIMS测量的，氪在20纳米的深度处以至少1x10¹⁰个原子/cm³的量存在于所述导电层中。

2.根据权利要求1所述的生物传感器电极，其中所述导电材料包含选自以下元素的任一种的合金：铝、铟、铱、铌、锇、铂、铼、铑、硒、银、钽、锡、钨和锆。

3.根据权利要求1或2所述的生物传感器电极，其中所述导电材料包含金。

4.根据权利要求1或2所述的生物传感器电极，其中所述导电层包含氪以及氩、氙、氖或其组合中的至少一种。

5.根据权利要求1或2所述的生物传感器电极，其中所述导电层由所述导电材料和氪组成。

6.一种形成生物传感器电极的方法，所述生物传感器电极包括复合材料，所述方法包括：

a.提供基材层；

b.使用由氪组成的溅射气体经由溅射技术形成导电层，其中所述导电层包含导电材料，所述导电材料包含铝、金、铟、铱、铌、锇、铂、铼、铑、硒、银、钽、锡、钨、锆、其混合物、这些元素中任一种的氧化物、或这些元素中任一种的金属化合物；

c.其中所述导电层具有不大于150纳米的厚度；

d.其中所述导电层具有不大于3.0的标准化厚度t/λ，其中t为膜厚度，λ是指平均自由程；

e.其中所述复合材料具有不大于97.077t^-1.071ohm/sq的方块电阻，其中t代表以纳米计的所述导电层的厚度，

f.其中所述复合材料具有不大于97.077t^-0.071ohms.nm的电阻率，其中t代表以纳米计的所述导电层的厚度，以及

g.其中，如根据SIMS测量的，氪在5纳米的深度处以至少1x10¹⁰个原子/cm³的量存在于所述导电层中，并且如根据SIMS测量的，氪在20纳米的深度处以至少1x10¹⁰个原子/cm³的量存在于所述导电层中。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述导电材料包含选自以下元素的任一种的合金：铝、铟、铱、铌、锇、铂、铼、铑、硒、银、钽、锡、钨和锆。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述导电材料包含金。

9.根据权利要求6所述的方法，其中所述导电层包含氪以及氩、氙、氖或其组合中的至少一种。

10.根据权利要求6所述的方法，其中所述导电层由所述导电材料和氪组成。

11.根据权利要求6所述的方法，其中所述溅射气体包含氪和另一种稀有气体，例如氩、氙、氖或其组合。

12.根据权利要求6所述的方法，其中所述溅射气体包括氪和氩。