[发明专利]用于产生金属-陶瓷基板的方法在审
申请号: | 202210633110.6 | 申请日: | 2022-06-07 |
公开(公告)号: | CN115536422A | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | A·施沃贝尔;A-Z·米瑞克;R·瓦克尔;D·施尼 | 申请(专利权)人: | 贺利氏德国有限两合公司 |
主分类号: | C04B37/02 | 分类号: | C04B37/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 赵超 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 产生 金属 陶瓷 方法 | ||
1.一种用于产生金属-陶瓷基板的方法,所述方法包括以下步骤:
a)提供叠堆,所述叠堆包含
a1)陶瓷体,
a2)金属箔,和
a3)焊料材料,所述焊料材料与所述陶瓷体和所述金属箔接触,
其中所述焊料材料包含:
(i)熔点为至少700℃的金属,
(ii)熔点小于700℃的金属,和
(iii)活性金属,以及
b)加热所述叠堆,其中满足以下条件中的至少一个条件:
b1)高温加热持续时间不超过60分钟,其中所述高温加热持续时间是指所述叠堆在加热时暴露于对应于至少峰值温度–250℃的温度的持续时间;
b2)峰值温度加热持续时间不超过30分钟,其中所述峰值温度加热持续时间是指所述叠堆在加热时暴露于对应于至少峰值温度–50℃的温度的持续时间;
b3)加热持续时间不超过60分钟,其中所述加热持续时间表示从100℃的温度开始所述叠堆需要达到峰值温度的时间段。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述陶瓷体的陶瓷选自由氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷和氧化铝陶瓷组成的组。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述金属箔的所述金属是铜。
4.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述焊料材料是包含以下的糊料:(a)至少一种金属组分,所述金属组分具有熔点为至少700℃的金属、熔点小于700℃的金属和活性金属;和(b)有机介质。
5.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述熔点为至少700℃的金属是铜。
6.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述熔点小于700℃的金属选自由锡、铋、铟、镓、锌、锑和镁组成的组。
7.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述活性金属选自由铪、钛、锆、铌、钽、钒和铈组成的组。
8.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,相对于所述焊料材料的总金属重量,银的比例小于3.0重量%。
9.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述叠堆穿过用于加热的加热区。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,在所述加热区中存在非氧化气氛。
11.根据权利要求9或10所述的方法,其特征在于,在所述加热区中存在氮气氛。
12.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述加热发生在连续加热炉中。
13.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述峰值温度在700℃-1100℃的范围内。
14.根据前述权利要求中的一项所述的方法,其特征在于,所述加热持续时间不超过5小时,其中所述加热持续时间是指所述叠堆在加热时暴露于至少200℃的温度的持续时间。
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