[发明专利]可移除过滤器滤芯、其密封阀及改装过滤器外壳的方法

说明书

本申请涉及一种可移除过滤器滤芯、其密封阀及改装过滤器外壳的方法。所述可移除过滤器滤芯包含容纳过滤器的过滤器外壳和耦合到所述过滤器外壳的开放端的密封阀。所述密封阀配置成将所述可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部。打开位置允许流体流入和流出所述过滤器外壳的内部体积。关闭位置密封所述过滤器外壳。一种用于改装过滤器外壳的方法包含：从过滤器头部移除过滤器外壳；将密封阀耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯；以及将所述可移除过滤器滤芯耦合到所述过滤器头部。

技术领域

本公开大体上涉及一种过滤器组合件。更确切地说，本公开涉及一种过滤器组合件中的可移除过滤器滤芯。

背景技术

过滤器可用于在半导体制造中去除流体中的污染物。过滤器头部可引导流体(例如，液体、水或类似者)通过可移除过滤器。过滤器可配置成在液体穿过过滤器时去除例如固体等污染物。确切地说，过滤器可用于在液体穿过过滤器时去除液体中的固体污染物。随时间推移，过滤器充满所截留的污染物(例如，固体)且随后替换。常规地，过滤器的外壳被排出且接着被移除且被新过滤器替换。

发明内容

在实施例中，一种可移除过滤器滤芯包含过滤器外壳和耦合到所述过滤器外壳的开放端的密封阀。过滤器外壳具有容纳过滤器的内部体积。所述密封阀包含用于将所述可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部的第一螺纹。密封阀具有打开位置和关闭位置。打开位置允许流体流入和流出过滤器外壳的内部体积。关闭位置密封过滤器外壳的内部体积。密封阀在关闭位置中配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。

在实施例中，用于可移除过滤器滤芯的密封阀包含第一螺纹和第二螺纹。第一螺纹用于将密封阀以可移除方式耦合到过滤器头部。第二螺纹用于将密封阀耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯。过滤器外壳具有容纳过滤器的内部体积。密封阀具有打开位置和关闭位置。打开位置配置成将流体从过滤器头部引导到过滤器外壳中，且接着从过滤器外壳引导回到过滤器头部。关闭位置配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封过滤器外壳的内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。

在实施例中，一种用于改装具有容纳过滤器的内部体积的过滤器外壳的方法。方法包含从过滤器头部移除过滤器外壳，所述移除包含从过滤器头部拧下过滤器外壳。方法还包含将密封阀耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯，所述耦合包含将过滤器外壳和密封阀旋拧在一起。方法还包含将可移除过滤器滤芯耦合到过滤器头部，所述耦合包含使用密封阀的第一螺纹将可移除过滤器滤芯旋拧到过滤器头部上。密封阀具有打开位置和关闭位置。打开位置允许来自过滤器头部的流体通过密封阀流入和流出过滤器外壳。关闭位置密封过滤器外壳的内部体积。密封阀在关闭位置中配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。

附图说明

图1为过滤器组合件的实施例的前透视图。

图2为根据实施例的图1的过滤器组合件的分解视图。

图3为根据实施例的图1的过滤器组合件的俯视图。

图4为根据实施例的在打开位置中沿着图3中的线IV-IV的过滤器组合件的截面视图。

图5为根据实施例的在关闭位置中沿着图3中的线IV-IV的过滤器组合件的截面视图。

图6A为根据实施例的在打开位置中的图4中的过滤器组合件的密封阀的前透视图。

图6B为根据实施例的在关闭位置中的图4中的过滤器组合件的密封阀的前透视图。

图7为根据实施例的图5中的过滤器组合件的密封阀的前透视图。

图8为改装过滤器外壳的方法的框流程图。

相同数字表示相同特征。

具体实施方式