[发明专利]一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路在审
| 申请号: | 202210630589.8 | 申请日: | 2022-06-06 |
| 公开(公告)号: | CN114994366A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
| 发明(设计)人: | 徐鑫;阮晓明;张明;肖子扬;闫世红 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号: | G01P21/00 | 分类号: | G01P21/00;G01P15/097;G01P15/08 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 姚咏华 |
| 地址: | 710000 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 温度 补偿 石英 加速度计 控制电路 | ||
1.一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,包括多谐振荡器,多谐振荡器与石英表头连接,多谐振荡器的输出端连接整形驱动,整形驱动连接F/V转换器,F/V转换器与加法器的一个信号输入端连接,加法器的另一个信号输入端连接温度传感器,加法器的输出端连接V/F转换器,V/F转换器的信号输出端作为石英振梁加速度计的信号输出端。
2.根据权利要求1所述的一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,多谐振荡器包括设置在石英梁臂的两个引出端,一个引出端连接电阻R1的一端和反相器G1的输入端,另一个引出端连接电阻R3的一端和电阻R4的一端,电阻R1的另一端和反相器G1的输出端均连接电阻R2的一端,电阻R2的另一端连接反相器G2的输入端和电阻R3的另一端,电阻R3并联有电容C1,反相器G2的输出端和电阻R4的另一端连接整形驱动。
3.根据权利要求1所述的一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,整形驱动包括串联的反相器G3和反相器G4,反相器G3的输入端连接多谐振荡器的输出端,反相器G4的输出端连接F/V转换器。
4.根据权利要求1所述的一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,F/V转换器包括比较器U1,比较器U1的正向输入端连接电压,比较器U1的反向输入端连接输入信号,比较器U1的输出端连接单稳态触发器U2,单稳态触发器U2连接开关S2,开关S2的一端连接恒流源A1,另一端连接积分器或输出端。
5.根据权利要求4所述的一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,积分器包括运算放大器U3,运算放大器U3的同相输入端接地,运算放大器U3的反相输入端连接开关S1、电容Cint1的一端和电阻Rint1的一端,电容Cint1的另一端和电阻Rint1的另一端均连接运算放大器U3的输出端。
6.根据权利要求1所述的一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,V/F转换器包括积分器,积分器连接输入端,积分器连接开关S2的一端,开关S2的一端还连接比较器U5的反相输入端,开关S2的另一端连接恒流源A2,积分器的输入端连接比较器U5的反相输入端,比较器U5的同相输入端连接电压,比较器U5的输出端连接单稳态触发器U6,单稳态触发器U6,单稳态触发器U6控制开关S2,单稳态触发器U6的输出端作为V/F转换器的输出端。
7.根据权利要求6所述的一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,积分器包括运算放大器U4,运算放大器U4的同相输入端接地,运算放大器U4的反相输入端连接电阻Rint2的一端、电容Cint2的一端和开关S2,电阻Rint2的另一端连接输入端,电容Cint2的另一端和运算放大器U4的输出端连接比较器U5的反相输入端。
8.根据权利要求1所述的一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路,其特征在于,石英表头中石英梁臂振荡的谐振频率为:
f1=f0(1+ainF)
其中,f0为外界加速度ain为0时石英梁臂的振荡频率,F为加速度频率转换系数。
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