[发明专利]太阳能电池及光伏组件

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括：

基底（10）；

依次设置在所述基底（10）背表面的隧穿层（121）、场钝化层（122）、第一钝化膜（123）以及穿透所述第一钝化膜（123）与所述场钝化层（122）形成接触的第一电极（124）；

其中，所述基底（10）、所述隧穿层（121）和所述场钝化层（122）均包括相同的第一掺杂元素，所述第一掺杂元素为磷元素，且所述第一掺杂元素在所述隧穿层（121）中的掺杂浓度小于所述第一掺杂元素在所述场钝化层（122）中的掺杂浓度，所述第一掺杂元素在所述隧穿层（121）中的掺杂浓度大于所述第一掺杂元素在所述基底（10）中的掺杂浓度；

所述场钝化层（122）包括第一掺杂区和第二掺杂区，所述第二掺杂区相对于所述第一掺杂区靠近所述隧穿层（121）；其中，所述第一掺杂区的掺杂曲线斜率大于所述第二掺杂区的掺杂曲线斜率；所述第一掺杂元素经退火激活后得到激活的第一掺杂元素；所述掺杂曲线斜率为激活的第一掺杂元素的掺杂浓度随掺杂深度变化的曲线的斜率；

所述第一掺杂区的掺杂曲线斜率为5×10¹⁸~1×10¹⁹；所述第二掺杂区的掺杂曲线斜率为-5×10¹⁸~5×10¹⁸；

在所述隧穿层（121）朝向所述基底（10）的方向上，所述隧穿层（121）中的掺杂曲线斜率逐渐减小；

在所述基底（10）背表面朝向所述基底（10）内部的过程中，所述基底（10）的掺杂曲线斜率逐渐增大并趋于稳定。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述基底（10）的掺杂曲线斜率小于或等于所述第二掺杂区的掺杂曲线斜率的平均值。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述激活的第一掺杂元素在所述场钝化层（122）中的掺杂浓度为1×10²⁰atom/cm³~5×10²⁰atom/cm³；

所述第一掺杂元素在所述场钝化层（122）中的激活率为50%~70%；所述激活率为所述激活的第一掺杂元素的掺杂浓度与总注入的所述第一掺杂元素的浓度的比值。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述隧穿层（121）的掺杂曲线斜率为-2.5×10¹⁹~-2.5×10¹⁸；所述基底（10）的掺杂曲线斜率为-2.5×10¹⁹~0。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，在垂直于所述基底（10）的表面的方向上，所述场钝化层（122）的厚度为60nm~130nm，所述隧穿层（121）的厚度为0.5nm~3nm。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，还包括：依次设置在所述基底（10）上表面的发射极（111）、第二钝化膜（112）以及穿透所述第二钝化膜（112）与所述发射极（111）形成接触的第二电极（114）；

其中，所述基底（10）还包括第二掺杂元素，所述第二掺杂元素为硼元素。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池，其特征在于，所述第二掺杂元素经退火激活后得到激活的第二掺杂元素；所述激活的第二掺杂元素在所述基底（10）上表面的掺杂浓度为5×10¹⁸atom/cm³~1.5×10¹⁹atom/cm³；

所述第二掺杂元素在所述基底（10）上表面的总注入掺杂元素的浓度为1.5×10¹⁹atom/cm³~1×10²⁰atom/cm³。