[发明专利]全差分加速度计

权利要求书

1.一种差分、多质量块、多轴加速度计，包括：

第一和第二质量块，彼此并排且在平面内布置在基板中，沿平面内X和Y方向可移动，并且被配置为已向其施加差分驱动信号，该差分驱动信号包括施加到所述第一质量块的第一极性信号和施加到所述第二质量块的第二极性信号；

第一多个感测指，耦合到所述基板，与所述第一和第二质量块电容耦合，并且被配置为感测所述第一和第二质量块的X方向移动；和

第二多个感测指，耦合到所述基板，与所述第一和第二质量块电容耦合，并且被配置为感测所述第一和第二质量块的Y方向移动，

其中所述第一多个感测指被组合地配置为输出差分X方向运动信号，和

其中所述第二多个感测指被组合地配置为输出差分Y方向运动信号。

2.权利要求1所述的差分、多质量块、多轴加速度计，还包括：

第一屏蔽件，设置在所述第一质量块下方的基板上；和

第二屏蔽件，与所述第一屏蔽件电隔离并且设置在至少一些第一多个感测指的下方的基板上。

3.权利要求2所述的差分、多质量块、多轴加速度计，其中所述第一质量块和第一屏蔽件电耦合到相同的偏置电压节点。

4.权利要求3所述的差分、多质量块、多轴加速度计，其中所述第二屏蔽件电耦合到恒压节点。

5.权利要求1所述的差分、多质量块、多轴加速度计，其中所述第一和第二质量块中的每一个都沿Z方向可移动，并且所述加速度计还包括：

第三多个感测电极，耦合到所述基板，与所述第一和第二质量块电容耦合，并且被配置为感测所述第一和第二质量块的Z方向移动，

其中所述第三多个感测电极被组合配置为输出差分Z方向运动信号。

6.权利要求1所述的差分、多质量块、多轴加速度计，其中所述第一多个感测指的第一子集与第一检测质量块形成可变电容，该可变电容随着所述第一检测质量块在正X方向上移动而增加，所述第一多个感测指的第二子集与所述第二检测质量块形成可变电容，该可变电容随着所述第二检测质量块在正X方向上移动而减小，并且其中所述差分多质量块多轴加速度计还包括X感测信号节点，所述X感测信号节点设置在所述基板上并被配置为将来自所述第一多个感测指的第一子集的第一X感测信号与来自所述第一多个感测指的第二子集的第二X感测信号组合。

7.权利要求6所述的差分、多质量块、多轴加速度计，还包括：

一个或多个差分放大器耦合到所述X-感测信号节点并被配置为放大所述差分X-方向运动信号。

8.权利要求1所述的差分、多质量块、多轴加速度计，其中:

所述第一多个感测指和所述第二多个感测指固定地耦合到所述基板。

9.权利要求1所述的差分、多质量块、多轴加速度计，还包括：

第三可移动质量块和第四可移动质量块，并排设置在所述基板中并且每个沿Z方向可移动；和

第三多个感测电极，耦合到所述基板，与所述第三和第四检测质量块电容耦合，并且被配置为感测所述第三和第四检测质量块的Z方向移动，其中所述第三多个感测电极被组合配置为输出差分Z方向运动信号。