[发明专利]一种光学检测装置及光学检测的复检方法

说明书

本发明提供一种光学检测装置，包括：所述处理器用于对所述扫描相机拍摄的图像进行特征检测，得到缺陷位置分布；所述光学检测装置还包括第一支架以及设置在所述第一支架上的第一复检相机、第二支架以及设置在所述第二支架上的第二复检相机；所述处理器用于控制所述第一复检相机在所述第一支架上沿第二方向移动，控制所述第二复检相机在所述第二支架上沿第二方向移动；所述处理器还用于根据缺陷位置分布规划所述第一复检相机和所述第二复检相机的复检路线。本发明实施例可提高检测效率，提高检测准确度。

技术领域

本发明涉及工业检测领域，特别涉及一种光学检测装置及光学检测的复检方法。

背景技术

在面板AOI(Automated Optical Inspection，自动光学检测)领域，AOI检测设备的主要目的是发现面板在生产过程中存在的各种缺陷(比如颗粒、脏污、划伤、凸起、凹坑、短路、断路等)，所使用的主要手段是通过多个并排排列的扫描CCD探头，经过拼接的方式，完整扫描面板，根据拍摄的图像，利用图像处理算法分析面板上的各类缺陷。

AOI检测设备的节拍时间，主要受全检流程和复检流程影响，为了提升AOI检测设备的检测效率，缩短节拍时间，通常的手段包括：1、增加更多的全检CCD探头以减少覆盖完整面板进行多轮扫描的轮数；2、在全检过程中同步进行复检动作以缩短后续复检的时间；3、配备多个复检探头以期达到多个复检探头同时复检的目的，缩短复检时间；等等。上述第3个手段，初衷是比较理想化的，受限于硬件结构，复检探头本身缺少面板行进方向上的移动自由度，导致多个探头在同一时刻同时拍摄目标缺陷的条件较难满足，大大降低了提速效果。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种光学检测装置，包括：

承载台，用于承载被检测物；

一个或一个以上扫描相机，所述扫描相机的扫描视野至少部分覆盖所述承载台；

运动机构，所述运动机构用于带动所述被检测物在承载平面相对所述扫描相机沿第一方向移动，以采集所述被检测物的图像；

与所述扫描相机连接的处理器，所述处理器用于对所述扫描相机拍摄的图像进行特征检测，得到缺陷位置分布；

所述光学检测装置还包括第一支架以及设置在所述第一支架上的第一复检相机、第二支架以及设置在所述第二支架上的第二复检相机；所述处理器用于控制所述第一复检相机在所述第一支架上沿第二方向移动，控制所述第二复检相机在所述第二支架上沿第二方向移动；

所述处理器还用于根据缺陷位置分布规划所述第一复检相机的复检路线，根据所述第一复检相机的复检路线动态设定所述第二复检相机的复检路线，控制所述第一复检相机和所述第二复检相机沿相应的复检路线移动，在所述第一复检相机和所述第二复检相机均抵达相应的目标复检位置后，控制所述第一复检相机和所述第二复检相机同时扫描。

在其中一个实施例中，所述处理器还用于控制所述第一支架和/或所述第二支架相对所述承载台在所述第一方向上移动。

在其中一个实施例中，所述被检测物沿所述第一方向被划分为第一待检区域和第二待检区域，所述第一复检相机相对所述承载台在所述第一待检区域内移动，所述第二复检相机相对所述承载台在所述第二待检区域内移动。

在其中一个实施例中，所述处理器还用于根据所述缺陷位置分布确定所述第一待检区域和所述第二待检区域的比例和/或沿第一方向的重叠区域。

在其中一个实施例中，所述处理器还用于根据缺陷位置分布确定所述第一待检区域中沿所述第一方向排列的复检目标的复检位置，控制移动所述第一复检相机依次沿所述第一方向扫描所述第一待检区域中的复检位置。