[发明专利]一种光学检测装置及光学检测的复检方法

权利要求书

1.一种光学检测装置，其特征在于，包括：

承载台，用于承载被检测物；

一个或一个以上扫描相机，所述扫描相机的扫描视野至少部分覆盖所述承载台；

运动机构，所述运动机构用于带动所述被检测物在承载平面相对所述扫描相机沿第一方向移动，以采集所述被检测物的图像；

与所述扫描相机连接的处理器，所述处理器用于对所述扫描相机拍摄的图像进行特征检测，得到缺陷及缺陷位置分布；

所述光学检测装置还包括第一支架以及设置在所述第一支架上的第一复检相机、第二支架以及设置在所述第二支架上的第二复检相机；所述处理器用于控制所述第一复检相机在所述第一支架上沿第二方向移动，控制所述第二复检相机在所述第二支架上沿第二方向移动；

所述处理器还用于根据缺陷位置分布规划所述第一复检相机的复检路线，根据所述第一复检相机的复检路线动态设定所述第二复检相机的复检路线，控制所述第一复检相机和所述第二复检相机沿相应的复检路线移动，在所述第一复检相机和所述第二复检相机均抵达相应的目标复检位置后，控制所述第一复检相机和所述第二复检相机同时扫描。

2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于控制所述第一支架和/或所述第二支架相对所述承载台在所述第一方向上移动。

3.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述被检测物沿所述第一方向被划分为第一待检区域和第二待检区域，所述第一复检相机相对所述承载台在所述第一待检区域内移动，所述第二复检相机相对所述承载台在所述第二待检区域内移动。

4.根据权利要求3所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于根据所述缺陷位置分布确定所述第一待检区域和所述第二待检区域的比例和/或沿第一方向的重叠区域。

5.根据权利要求3所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于根据缺陷位置分布确定所述第一待检区域中沿所述第一方向排列的复检目标的复检位置，控制移动所述第一复检相机依次沿所述第一方向扫描所述第一待检区域中的复检位置。

6.根据权利要求5所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于根据缺陷位置分布确定所述第二待检区域中的复检位置，在所述第一复检相机开始向第一目标复检位置移动时，在所述第二待检区域中选取所述第二复检相机在预设时间内能够抵达的第二目标复检位置，控制所述第二复检相机移动至所述第二目标复检位置扫描。

7.根据权力要求6所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于在所述第一复检相机移动至第一目标复检位置后，等待所述第二复检相机移动至第二目标复检位置，控制所述第一复检相机和所述第二复检相机同时扫描。

8.根据权力要求6所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于在所述第二复检相机移动至第二目标复检位置后，等待所述第一复检相机移动至第一目标复检位置，控制所述第一复检相机和所述第二复检相机同时扫描。

9.根据权力要求6所述的光学检测装置，其特征在于，所述预设时间为所述第一复检相机移动至第一目标复检位置的预估时间的1.5倍。

10.一种光学检测的复检方法，基于权利要求3至9任一项所述的光学检测装置的处理器，所述方法包括：

获取通过扫描相机扫描得到的被检测物的缺陷位置分布，根据所述缺陷位置分布确定所述第一待检区域和所述第二待检区域的复检位置；

控制移动所述第一复检相机在所述第一待检区域内依次沿所述第一方向扫描所述复检位置；

在所述第一复检相机开始向所述第一待检区域内的第一目标复检位置移动时，在所述第二待检区域中选取所述第二复检相机在预设时间内能够抵达的第二目标复检位置，控制所述第二复检相机移动至所述第二目标复检位置扫描。