[发明专利]一种集成式真空发生器性能检测设备及检测方法

权利要求书

1.一种集成式真空发生器性能检测设备，其特征在于，包括：

第一气路，其包括第一电子阀、耗气流量表和进气压力表，所述第一电子阀、所述耗气流量表和进气压力表依次通过管路连接，所述第一电子阀控制外部气源与待测集成式真空发生器的进气接头之间的通断；

第二气路，其包括第二电子阀、真空流量表和真空压力表，所述第二电子阀、所述真空流量表和所述真空压力表通过管路依次连接，所述第二电子阀控制所述集成式真空发生器的抽真空接头与大气之间的通断；

PLC控制器，其与所述第一电子阀、所述第二电子阀相连；

当对所述集成式真空发生器进行检测时，开启所述第一电子阀，对所述集成式真空发生器进行内漏检测，然后，依次开启所述第二电子阀以及所述集成式真空发生器上的真空电磁阀，对所述集成式真空发生器进行最大真空度、最大耗气量以及最大真空流量的检测，该检测结束后，开启所述集成式真空发生器的破坏电磁阀，进行最大破坏流量的检测。

2.根据权利要求1所述的集成式真空发生器性能检测设备，其特征在于：还包括AD模块和工控电脑，所述AD模块的输出连接所述工控电脑，所述AD模块的输入连接所述耗气流量表、所述进气压力表、所述真空流量表和所述真空压力表。

3.根据权利要求1所述的集成式真空发生器性能检测设备，其特征在于：还包括空滤套件，所述空滤套件的进口连接所述外部气源，所述空滤套件的出口连接所述第一电子阀。

4.根据权利要求3所述的集成式真空发生器性能检测设备，其特征在于：所述空滤套件包括依次连通的油过滤器，空气过滤器，空气干燥器以及手动调压阀。

5.根据权利要求1所述的集成式真空发生器性能检测设备，其特征在于：还包括真空过滤器，所述真空过滤器的进口与大气连通，所述真空过滤器的出口连接所述第二电子阀。

6.根据权利要求1所述的集成式真空发生器性能检测设备，其特征在于：还包括工作台，所述第一气路、所述第二气路、所述PLC控制器均设置于所述工作台。

7.一种集成式真空发生器的内漏检测方法，利用如权利要求1-6任意一项所述的集成式真空发生器性能检测设备进行检测，其特征在于，包括以下步骤：

(1)关闭所述第二电子阀、所述破坏电磁阀和所述真空电磁阀,所述第二气路输出为O；

(2)打开所述第一电子阀，接通所述外部气源并等待其释放气体；

(3)采集所述耗气流量表的数据，如果所述耗气流量表显示有数值，则说明集成式真空发生器发生内漏，反之则说明集成式真空发生器没有发生内漏。

8.一种集成式真空发生器性能检测方法，利用如权利要求1-6任意一项所述的集成式真空发生器性能检测设备进行检测，其特征在于，包括：对集成式真空发生器的最大真空度和所述最大耗气量进行检测，具体为：

(1)关闭所述第二电子阀和所述破坏电磁阀；

(2)打开所述第一电子阀接通所述外部气源，同时打开所述真空电磁阀；

(3)等待所述外部气源释放气体并填充所述第一气路，采集所述耗气流量表和所述真空压力表的数据，所述真空压力表显示数值为最大真空度，所述耗气流量表显示数值为最大耗气量。

9.一种集成式真空发生器性能检测方法，利用如权利要求1-6任意一项所述的集成式真空发生器性能检测设备进行检测，其特征在于，包括：对集成式真空发生器的最大真空流量进行检测，具体为：

(1)关闭所述破坏电磁阀；

(2)打开所述第一电子阀接通外部气源，同时打开所述真空电磁阀和所述第二电子阀；

(3)等待所述外部气源释放气体并导通所述第一气路，采集所述真空流量表的数据，所述真空流量表显示数值为最大真空流量。

10.一种集成式真空发生器性能检测方法，利用如权利要求1-6任意一项所述的集成式真空发生器性能检测设备进行检测，其特征在于，包括：对集成式真空发生器的最大破坏流量进行检测，具体为：

(1)打开所述第一电子阀接通外部气源，所述外部气源释放气体并导通所述第一气路，同时打开所述第二电子阀：

(2)关闭所述真空电磁阀，此时第二气路输出为0；

(3)打开破坏电磁阀，采集所述耗气流量表的数据，所述耗气流量表显示数值为最大破坏流量。