[发明专利]基于区域交通信息的天车拥塞疏导方法

说明书

本发明提供了一种基于区域交通信息的天车拥塞疏导方法，包括：对天车轨道进行区域划分，并对区域内的天车流量进行监控；将所述区域中任一时段发生交通拥塞的天车按优先级进行排序，选择优先级低的天车，并对所述优先级低的天车的路径进行重规划。本发明能够对拥塞区域小车进行流量疏导和路径重规划，减少搬运时间，提高AMHS系统的搬送效率，实现高效稳定的物料传输。

技术领域

本发明涉及晶圆制造及物料运输技术领域，具体涉及一种基于区域交通信息的天车拥塞疏导方法。

背景技术

在芯片代工厂中，晶圆按照特定的工艺流程在各个机台上进行加工作业，晶圆在不同机台之间的流转通过天车系统负责搬送。当机台完成加工任务后，系统下达搬送指令，AMHS（Automatic Material Handling System自动物料搬送系统）对空闲天车和已下达的搬送任务进行匹配并规划运输路径，天车接到指令后，前往该机台装载晶圆，并将晶圆运输至下一个指定的机台。

当天车接到搬送指令后，前往晶圆起始机台装载晶圆，并送至目的机台卸载晶圆，完成一次运输任务。由于天车的轨道网络是一个稀疏的有向有环图，且轨道上只允许单向行驶，因此会出现天车在岔路口发生冲突，以及前车因故障或装卸晶圆而阻塞轨道，与同一轨道上的后车造成冲突等情况，导致天车通过部分区域时的平均时间大幅增加，出现交通拥塞，严重影响AMHS系统的搬送效率。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供一种基于区域交通信息的天车拥塞疏导方法，该方法中按照轨道布局进行区域划分，统计最近一段时间内通过区域的车辆总数并进行区域流量监控，对拥塞区域小车进行流量疏导和路径重规划，以达到减少搬运时间，提高AMHS系统的搬送效率的目的。

本申请实施例提供以下技术方案：一种基于区域交通信息的天车拥塞疏导方法，包括如下步骤：

对天车轨道进行区域划分，并对各区域内的天车流量进行监控；

将所述区域中任一时段发生交通拥塞的天车按优先级进行排序，选择优先级低的天车，并对所述优先级低的天车的路径进行重规划。

进一步地，将所述区域中任意时段发生拥塞的天车按优先级进行排序的规则为：包括按照天车现有路径的延迟时间由高到低排序、按照晶圆任务的优先级由高到低排序、按照天车因拥塞而等待的时间由高到低排序中的任一种。

进一步地，所述的任一时段发生交通拥塞的判定标准为：若该时段内天车通过指定区域的平均时间的增幅大于增幅阈值，则判定该指定区域当前时段发生交通拥塞。

进一步地，所述交通拥塞包括轻微拥塞和严重拥塞，且对发生所述严重拥塞的天车按优先级进行排序，并对优先级低的天车的路径进行重规划。

进一步地，所述的任一时段发生交通拥塞的判定标准为：若该时段内天车通过指定区域的平均时间小于正常值的1.2倍，则认定为不拥塞；若该时段内天车通过指定区域的平均时间为正常值的1.2-1.5倍，则认定为所述轻微拥塞；若该时段内天车通过指定区域的平均时间大于正常值的1.5倍，则认定为所述严重拥塞。

进一步地，所述优先级低的天车的选择标准为：将所述区域中任意时段发生拥塞的天车按优先级由高到低排序，将排序在后70-80%的天车认定为所述优先级低的天车，并对该70-80%的天车的路径进行重规划。

进一步地，对所述优先级低的天车的路径进行重规划时，采用随机回溯的方法，将每个所述优先级低的天车从拥塞开始点出发，分别回溯至该天车历史路径上最近的第s个岔路口，并从该第s个岔路口上获取新路径。

进一步地，所述的从该第s个岔路口上获取新路径的方法包括：从该第s个岔路口上随机选择第k短的路径作为所述新路径。

进一步地，所述s和k均为设定范围内的随机值。

进一步地，所述的对天车轨道进行区域划分的方法包括：将机台功能相同或加工工艺前后连续的轨道路径划分为同一区域。