[发明专利]一种栅网电极制作装置及方法在审
申请号: | 202210536769.X | 申请日: | 2022-05-17 |
公开(公告)号: | CN114899081A | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 张鑫 | 申请(专利权)人: | 安徽皖仪科技股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;H01J49/06 |
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地址: | 230088 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电极 制作 装置 方法 | ||
本发明公开了一种栅网电极制作装置及方法,该制作装置包括第一板体、第二板体以及设于第一板体和第二板体之间的两组薄片组件,两组薄片组件分别通过导向柱连接在第一板体与第二板体之间;所述薄片组件包括多个薄片单元,多个薄片单元之间等间距分布,并且每相邻的两个薄片单元之间的间距与栅网电极中的金属细线间距相适配;所述第一板体与第二板体之间在薄片组件的外侧还分别设有绕线柱。本发明栅网电极的制作方法及装置,克服了常见的栅网电极受限于金属箔片的厚度不能形成较细的栅丝,而且栅网粘贴的过程比较复杂,成品率低的缺点,以及在手工绕制栅网时,栅丝的平行度和张紧程度不容易控制,不能绕制过密的栅网等缺点。
技术领域
本发明涉及一种质谱仪栅网电极的手工制作技术,特别涉及一种栅网电极制作装置及方法。
背景技术
电极是质谱仪(特别是飞行时间质谱仪)的关键零件之一。为了形成均匀电场,同时又尽量减小离子穿过电极时的损失,飞行时间质谱仪中的电极一般是网状电极,称为栅网电极。为了提高离子透过率,栅网的栅丝不能太粗,孔隙不能太小。为了确保电场分布的平直度和均匀性,栅丝之间必须保证较高的平行度或角度必须一致。
常见的一种飞行时间质谱仪栅网电极的制作方法是通过化学或电化学腐蚀金属箔片形成网格状的栅网。再将栅网粘贴到框架上,形成栅网电极。这种方法的缺点是受限于金属箔片的厚度,不能形成较细的栅丝,而且栅网粘贴的过程比较复杂,成品率低。
常见的另一种飞行时间质谱仪栅网电极的制作方法是将细金属丝手工平行绕到开槽的框架上,形成栅网电极,这种方法的缺点是效率比较低,栅丝的平行度和张紧程度不容易控制,不能绕制过密的栅网。
发明内容
为了解决上述现有技术中的不足,本发明的目的在于提供一种栅网电极制作装置及方法,利用该装置来制作栅网电极,克服了现有技术中成品率低的缺陷,而且本发明的栅网电机制作装置,其结构简单、成本低,制作的栅网电极精度高。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案为:一种栅网电极制作装置,包括第一板体、第二板体以及设于第一板体和第二板体之间的两组薄片组件,两组薄片组件分别通过导向柱连接在第一板体与第二板体之间;
所述薄片组件包括多个薄片单元,多个薄片单元之间等间距分布,并且每相邻的两个薄片单元之间的间距与栅网电极中的金属细线间距相适配;
所述第一板体与第二板体之间在薄片组件的外侧还分别设有绕线柱。
可选的,所述薄片单元包括一个第一薄片以及三个第二薄片,所述第一薄片为长条形薄片,第二薄片为圆形薄片,并且三个所述第二薄片呈直线并等间距的排列在第一薄片的同一侧;
每相邻的两个第二薄片之间的间隙与金属细线的直径相适配。
可选的,所述第一板体和第二板体之间还固定连接有衬板,所述衬板设于两组薄片组件之间;
所述衬板的两侧分别固定有栅网工装,所述栅网工装的形状与栅网电极的栅网支架形状适配。
可选的,所述栅网工装朝向栅网电极的一侧设有浅槽。
可选的,所述金属细线的直径为0.01~0.1mm。
本发明还提供了一种栅网电极的制作方法,在制作栅网电极时,使用上述的栅网电极制作装置,制作栅网电极的步骤为:
依次将金属细线缠绕在两个绕线柱之间,并使金属细线定位在两个薄片单元中,在将金属细线缠绕好后,金属细线之间构成平行线;
将栅网支架的侧面涂抹导电胶水,随后将栅网支架与金属细线粘贴在一起;
待导电胶水固化后,将位于栅网支架以外的金属细线切除,形成栅网电极。
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