[发明专利]一种气体输送装置

权利要求书

1.一种气体输送装置，用于配送制程气体至使用端，其特征是，包括阀箱本体（200）、升降台（210）、固定架（230）和存放制程气体的钢瓶（250），所述阀箱本体（200）位于升降台（210）上且与升降台（210）可拆卸连接，所述固定架（230）上设有若干根管件，所述管件的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件的另一端与阀箱本体（200）连接，所述管件上设有缓冲部（220a、222a、224a、226a、228a），所述阀箱本体（200）的侧面设有与钢瓶（250）相匹配的入口（200b），所述入口（200b）处设有阀箱门（200a），所述阀箱门（200a）与入口（200b）活动连接，所述钢瓶（250）上设有接头（254），所述接头（254）贯穿入口（200b）位于阀箱本体（200）内且与相应的管件可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件包括管件一（224）、管件二（220）和若干根管件三（222、226、228），所述管件一（224）的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件一（224）的另一端贯穿阀箱本体（200）的顶部与钢瓶（250）上的接头（254）可拆卸连接，所述钢瓶（250）内的制程气体通过管件一（224）传送至使用端。

3.根据权利要求2所述的一种气体输送装置，其特征是，所述固定架（230）位于阀箱本体（200）的顶部上方，所述阀箱本体（200）的顶部设有排气口（200c），所述管件二（220）的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件二（220）的另一端与排气口（200c）可拆卸连接。

4.根据权利要求2所述的一种气体输送装置，其特征是，所述阀箱本体（200）内设有管道系统，所述管件三（222、226、228）的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件三（222、226、228）的另一端贯穿阀箱本体（200）的顶部与阀箱本体（200）内的管道系统相连通。

5.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件二（220）的缓冲部（220a）由可伸缩、弯曲的可挠性管构成。

6.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件二（220）的缓冲部（220a）由蝮蛇管构成。

7.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件二（220）的内径大于管件一（224）和管件三（222、226、228）的内径。

8.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件一（224）和管件三（222、226、228）的缓冲部（224a、222a、226a、228a）均由弯曲、缠绕成弹簧状的可挠性管构成。

9.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件一（224）、管件二（220）和管件三（222、226、228）均由不锈钢制成。

10.根据权利要求1所述的一种气体输送装置，其特征是，所述钢瓶（250）上设有若干个均匀分布的底架（252），所述底架（252）与钢瓶（250）固定连接。